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【高斯摩分享】 ULVAC爱发科 旋片式干式真空泵
2025-6-3 阅读(48)
ULVAC爱发科 旋片式干式真空泵
什么是旋片式干式真空泵？
当转子旋转时，叶片通过离心力向外滑动，与气缸接触并旋转。被气缸、转子和叶片包围的空间，随着转子的旋转，从吸气口吸引的气体被压缩，从排气口排出。
旋片式干式真空泵的特点
由于这是无油泵，因此空气从气缸和转子之间的间隙回流是不可避免的。多叶片结构设计，尽可能防止回流。由于其结构简单，且能在低真空范围内达到较高的抽速，因此被广泛用作抽吸和输送机械的真空源。
【优点】在低真空范围内实现高排气速度。
【缺点】叶片会产生磨损碎屑。它噪音很大并且会产生大量热量。
旋片式干式真空泵的工作原理
当转子旋转时，离心力使叶片向外滑动并与气缸接触旋转。
当转子旋转时，通过进气口吸入的气体在气缸、转子和叶片所包围的空间中被压缩，然后从排气口排出。
旋片式干式真空泵的主要用途
电子电气行业、食品机械行业、包装机械行业、印刷设备行业、牙科行业、产业机械行业、半导体行业的真空源（吸附/抽吸）、包装机、滤油机、
应用领域
半导体制造：用于真空镀膜、真空热处理等工艺过程。用于晶圆制造、芯片封装和测试等环节。
食品加工：用于食品包装和储存过程中的真空处理。
制药行业：用于药品的混合、干燥和包装等环节。
实验室：科学研究和实验，如物理、化学、材料科学等领域的实验。
真空冶金：用于在真空中进行金属和合金的冶炼、提纯和精炼等。
化工行业：用于真空蒸馏、真空干燥等工艺过程。
光伏产业：在光伏电池的生产中，旋片式干式真空泵用于电池片的清洗、蚀刻和沉积等工艺。
显示技术：在液晶显示（LCD）和有机发光二极管（OLED）显示器的制造过程中，旋片式干式真空泵用于基板清洗、真空沉积和封装等工序。
电子元器件封装：在电子元器件的封装过程中，旋片式干式真空泵用于去除封装过程中的气体。
