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【高斯摩分享】 涡旋式干式真空泵
2025-6-3 阅读(71)
ULVAC爱发科
涡旋式干式真空泵
什么是涡旋式干式真空泵？
两个形状相同的涡旋盘在中心位置略微偏移，使得它们的壁彼此呈线接触，并且一个涡旋盘相对于另一个涡旋盘进行相对振荡研磨运动。被困在新月形空间中的气体被压缩向中心，并从中心的孔中排出。
涡旋式干式真空泵的特点
从吸入口引入的气体通过与固定涡旋盘重叠的动涡旋盘，从涡旋盘外部向内部被压缩。压缩过程通常设计为两次或多次进行，从而降低振动和噪音水平。极限压力可达1Pa。
【优点】比罗茨真空泵体积更小、价格更便宜。
【缺点】涡旋前端的密封圈磨损。
涡旋式干式真空泵的工作原理
两个形状相同的涡旋盘在中心位置略微偏移，使得它们的壁彼此呈线接触，并且一个涡旋盘相对于另一个涡旋盘进行相对振荡研磨运动。被困在新月形空间中的气体被压缩向中心，并从中心的孔中排出。
涡旋式干式真空泵的主要应用
真空干燥设备、理化分析设备、真空吸附输送设备、真空热处理炉等。
应用行业：
半导体制造、食品行业、药品行业、化妆品行业、太阳能光伏行业、
半导体：用于晶圆加工、刻蚀、薄膜沉积等环节，化学气相沉积（CVD）过程。
涡旋干泵可以实现真空输送，适用于粉末、颗粒等物料的输送。
真空干燥与包装：在食品、药品、化妆品等行业的真空冷冻干燥过程中，涡旋干泵可以有效脱水，保持产品形状和质量；同时，它还用于食品、电子产品等领域的真空包装过程，延长产品保质期。
太阳能光伏：在太阳能光伏行业中，涡旋干泵用于真空封装、真空烧结等工艺，提高光伏电池的效率和稳定性。
食品行业：在食品加工中，涡旋式干式真空泵用于食品的干燥、脱水和包装等环节。
制药行业：在药品生产中，涡旋式干式真空泵用于原料药的干燥、结晶和分离等过程。
化工行业：在化工生产中，涡旋式干式真空泵用于聚合反应、蒸馏、干燥等工艺。在聚合反应中，该泵可以排除反应体系中的空气和水分，防止反应受到干扰。
科研领域：真空镀膜、材料科学研究中的高真空热处理等。低温物理实验、高真空环境下的化学反应等。
环保工程：涡旋式干式真空泵用于废气处理和真空吸附过程，去除有害气体和污染物。
