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【高斯摩分享】 ULVAC爱发科 油扩散泵
2025-6-3 阅读(70)
ULVAC爱发科
油扩散泵
什么是油扩散泵?
这是一种动量输送泵,利用油蒸气喷射为气体分子提供动量,将其输送至排气口并排出。
油扩散泵的特点
油扩散泵由一个锅炉(用于加热油并产生蒸汽)、一个形状像伞状的喷嘴(喷射器)(用于向特定方向喷射蒸汽)和一个冷侧(用于冷凝蒸汽)组成。尽管其结构简单,但因其具有较高的抽速而闻名。它不能单独使用,必须与油旋转真空泵或类似泵配合使用作为辅助泵。
【优点】结构简单,排气速度快。
【缺点】高真空侧有油蒸气回流。
油扩散泵的工作原理
装置底部的油被加热器加热并变成蒸汽。当蒸汽以超音速从喷射段喷出时,气体被从上部喷射段推至下部喷射段,并被携带至排气口。以蒸汽形式喷出的油在主体内壁冷却凝结,然后又恢复为油的原始状态。
油扩散泵的主要用途
FPD制造设备、半导体制造设备、真空蒸馏、净化脱气、灭菌、干燥、脱水、消毒等。
油扩散泵应用行业:
半导体制造领域、化工、制药、食品行业、石油化工行业、
电力行业、冶金行业、新能源领域、医疗行业
1 FPD制造设备中油扩散泵用于获得高真空环境,特别是在以下几个关键工艺环节:
刻蚀:用于去除硅片表面的材料。
镀膜:用于创造高真空环境,以确保薄膜的均匀沉积和良好的附着力。这对于制造高质量的集成电路和芯片至关重要。
晶圆加工:在晶圆加工过程中,油扩散泵提供的真空环境有助于控制晶圆的传输和处理,确保加工过程的稳定性和可靠性
单晶硅制造:在单晶硅的生长过程中,高真空环境有助于减少杂质和缺陷的形成,提高晶体的质量。
等离子处理:在等离子处理中,油扩散泵提供的高真空环境有助于提高等离子体的稳定性和均匀性,从而优化处理效果。
2 真空蒸馏油扩散泵通过降低系统压力,促使液体在较低温度下沸腾,从而分离混合物中的不同组分。这种设备在工业领域中起着关键作用,广泛应用于化工、制药和食品等行业。
3 净化脱气油扩散泵主要应用于以下行业:
石油化工:在石油化工行业中,油扩散泵用于石油产品的脱气处理,以提高产品的纯度和质量。例如,在润滑油生产过程中,脱气处理可以去除油中的气体和杂质,确保润滑油的性能稳定。
电力:在电力行业中,油扩散泵用于变压器油的脱气处理。变压器油在运行过程中会吸收水分和气体,影响其绝缘性能。通过脱气处理,可以恢复其绝缘性能,确保电力设备的正常运行。
冶金:在冶金行业中,油扩散泵用于钢铁生产过程中的脱气处理。去除钢铁生产中的气体杂质可以提高产品的质量和纯度,满足高标准的冶金要求。
新能源:在新能源领域,特别是太阳能和风能设备中,油扩散泵用于润滑油的脱气处理。高性能的润滑油需要低气体含量的基础油,以确保设备的长期稳定运行。
4 油扩散泵在灭菌、干燥、脱水、消毒等领域的应用主要集中在医疗、化工、食品加工等行业。
医疗行业
在医疗行业中,油扩散泵主要用于真空干燥和消毒灭菌设备。例如,真空干燥箱和真空灭菌器常使用油扩散泵来提供高真空环境,确保医疗设备和药品的干燥和灭菌效果。这些设备在手术室、实验室和药品生产中起着关键作用,确保无菌操作和环境控制。
化工行业
在化工行业中,油扩散泵用于各种化学反应和分离过程,特别是在高真空条件下进行的高纯度化学品生产和精炼过程中。通过提供稳定的高真空环境,油扩散泵有助于提高产品质量和工艺效率。
食品加工行业
在食品加工中,油扩散泵用于真空脱水处理,帮助去除食品中的水分,延长保质期并改善产品质量。例如,真空脱水技术在果蔬干燥、肉类加工和调味品生产中广泛应用,确保食品的卫生标准和延长保存时间。
具体应用案例
医疗设备:如真空干燥箱和真空灭菌器,使用油扩散泵提供高真空环境,确保医疗设备和药品的干燥和灭菌效果。
化工反应器:在高真空条件下进行化学反应和分离过程,提高化学品的纯度和生产效率。
食品加工设备:如真空脱水机,用于去除食品中的水分,延长保质期并改善产品质量。