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【高斯摩分享】 ULVAC爱发科 油旋片真空泵 应用
2025-6-3 阅读(50)
ULVAC爱发科 油旋片真空泵 应用
什么是油旋片真空泵？
油旋转真空泵是指通过油来减少转子、定子、滑动叶片等部件之间的机密和无效空间的容积移送型真空泵。
油旋片真空泵的特点
油旋片真空泵使用真空泵油使旋转部件的运动更加平稳，并使用真空密封来提高气密性，从而实现高排气性能。此外，它是效率高的泵类型，可以在大气压至高真空范围内有效运行，并且是一种可提供稳定泵送性能的高可靠性泵。
【优点】价格便宜、结构紧凑、安装方便、容易获得10Pa以下的真空。
[缺点] 真空泵油的处理比较复杂。
油旋转真空泵的工作原理
油旋片真空泵大致分为三种类型。
1）旋转翼型油旋转真空泵
该泵装有两个叶片，安装在汽缸内侧的转子上。该叶片将气缸内分成三个空间。被分割的空间的气体随着转子的旋转被压缩，并以周期性变化的方式通过排气阀排放到大气中。油起到润滑轴承部、冷却、提高叶片和气缸气密性的密封作用。
2）凸轮式油回转真空泵
偏心转子安装在圆柱形定子的中心，转子的一部分与定子接触并旋转。进气侧和排气侧均安装有可上下移动的叶片作为密封件。在转子旋转一圈的过程中，定子和转子之间的间隙被抽空以产生真空。
3）摆动活塞式油回转真空泵
沿导向段滑动的活塞因偏心转子的旋转而上下摆动，改变活塞与气缸所围成的空间的容积，从而输送气体。
油旋片真空泵的主要用途
食品、卡盘、真空炉、泄漏系统、浸渍装置、激光、涂层、化学、医疗、中央真空系统等
应用行业：
制造业、半导体与集成电路行业、医疗器械、航空航天与国防、食品与药品行业、化学与精细化工行业、真空镀膜与表面处理、科研与实验室、纺织与印刷、能源行业等。
制造业
在制造业中，油式旋片真空泵常用于工业气体处理、气瓶搬运与真空干燥，确保生产环境的清洁和安全，提高生产效率和产品质量。
半导体与集成电路行业
在半导体制造过程中，油式旋片真空泵被广泛应用于晶圆清洗、光刻、刻蚀、薄膜沉积等多个关键工艺环节，提供高纯度的真空环境，确保半导体器件的性能稳定和质量。
医疗器械
在医疗行业中，油式旋片真空泵用于医疗设备如血压计、血液分析器、医用灭菌器、呼吸机等，为其提供高质量的真空环境，提高设备的性能和精度。
食品与药品行业
在食品和药品的干燥过程中，油式旋片真空泵通过降低物料周围的气压，使物料中的水分在较低温度下迅速蒸发，从而保留物料的营养成分和活性物质，提高干燥效率和质量。此外，它还用于食品加工、包装和储存过程中的真空处理，以延长产品的保质期。
化学与精细化工行业
在化学工业中，油式旋片真空泵用于化学反应、混合、蒸馏等过程，实现真空环境和气体输送。在精细化工中，它也被用于真空过滤、真空蒸发、真空精馏等领域。
真空镀膜与表面处理
在真空镀膜领域，油式旋片真空泵是构建真空镀膜室的重要设备之一，能够快速抽除镀膜室内的空气和其他杂质气体，为镀膜过程创造理想的真空环境。
科研与实验室
在科研和实验室环境中，油式旋片真空泵因其操作简便、性能稳定而备受青睐，能够满足各种科学实验对真空度的不同需求。
航空航天与国防
在航空航天领域，油式旋片真空泵用于模拟太空环境、测试航天器部件以及支持空间科学实验等，其高可靠性和长寿命特点使其成为航天器上真空系统的理想选择。
其他行业
在纺织和印刷行业中，油式旋片真空泵用于真空包装、真空吸盘搬运等。
在能源行业，如太阳能光伏板的制造过程中，油式旋片真空泵也用于相关工艺步骤。
