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【高斯摩分享】 ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵
2025-6-3 阅读(63)
ULVAC爱发科
多级罗茨干式真空泵
什么是多级罗茨干式真空泵？
多级罗茨真空泵是一种在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。
多级罗茨干式真空泵的特点
罗茨干式真空泵是一种集成多级机械增压泵的干式真空泵。采用三叶转子的罗茨式干式真空泵，在一根轴上连接有多个转子，可以压缩并排出空气直至大气压。转子壳内不使用油等密封液，排气干净。齿轮和轴承的润滑采用油，但设计了密封结构以防止油进入壳体。
【优点】可获得洁净的真空，从大气压到极限压力均可使用。
【缺点】容积效率比接触泵差。
多级罗茨干式真空泵的工作原理
气体由高速旋转的转子输送
该泵在一个称为壳体的盒子内有两个三叶转子（旋转体），它们通过一对齿轮以相同的速度沿相反方向旋转。转子之间、转子与壳体之间并不接触，而是保持较小的间隙旋转，以输送和压缩气体。转子采用多级结构，将气体压缩至大气压，并排入大气。
多级罗茨干式真空泵的主要用途
FPD制造设备、半导体制造设备、真空蒸馏、净化脱气、灭菌、干燥、脱水、消毒等。
CVD装置、蚀刻装置、灰化装置、ALD、ALH等，PVD工艺
应用
空气、惰性气体等清洁气体的真空排气
各种成膜设备装料室、卸料室的排气
真空干燥、真空气体置换、真空脱气等一般工业应用
真空绝热、充气等真空气体置换
应用行业：
FPD、电子、半导体领域等。
化工、制药、太阳能光伏、食品和医疗等领域。
CR系列风冷罗茨式干式真空泵
用途：
应用
空气、惰性气体等清洁气体的真空排气
真空干燥等水蒸气排放（需使用气镇）
用于溅射、沉积等的真空设备。
LR系列应用
成膜设备（溅射设备/蒸镀设备等）
缩短准备和取出室的排气时间
作为辅助排气泵（涡轮分子泵和机械增压泵的辅助排气）
