灯丝

钨丝

钨丝

镍丝

钨丝

镍丝

馈入装置

玻璃

玻璃

玻璃

陶瓷

陶瓷

测量原理

根据皮拉尼的热导率

测量范围( 空气、O2 、 CO 、 N2)

毫巴

5 × 10 -4 至 1000

精度(N 2)

±15%

1 × 10 -3… 100 毫巴

读数%

±50%

5 × 10 -4… 1 × 10-3 毫巴

读数%

±50%

100 … 1000毫巴

读数%

2 %

可重复性( 空气) 1 × 10-3… 100 毫巴

读数%

输出信号( 测量信号)

电压范围

V

0 … +10.3

测量范围

V

V +1.9 … +10.0

电压与压力

对数1.286 V/decade

错误信号

V

0 … +0.5 (灯丝断裂 )

输出阻抗

Ω

2 × 4.7

最小加载阻抗

kΩ

10，耐短路

响应时间

毫秒

80

真空计标识

kΩ

27.0，参考电源通用

调节

一个用于ATM 和HV 调节的触摸开关

设定值

无

2

设定范围

毫巴

2 × 10 -3 … 500

滞后

读数%

比下限高出10%

继电器触点

伏( 直流)/ 安 ( 直流 )

30 / 0.5浮动

开关时间

毫秒

< 20

电源电压

真空计处

伏( 直流)

+14 … +30

波纹电压

V pp

≤1

电流消耗

mA

<500 (最大起始电流 )

功耗

W

≤1

电气连接

FCC 68 / RJ45电器连接器， 8极，公头

传感器电缆

8极加屏蔽

电缆长度

米

≤100 (8 × 0.14平方毫米 )

暴露于真空的材料

玻璃、Ni 、NiFe

DIN 1.4301/1.4305/1.4435

Al 2O3 、 Ni

DIN

1.3981/1.4305/1.4435

灯丝材料

W

W

Ni

W

Ni

内部容积

DN 16 ISO-KF、 DN 16 CF-R、 7/16-20UNF

立方厘米( 立

方英寸)

1.5 (0.092)

DN 16 ISO-KF和 DN 16 CF-R长管

立方厘米( 立

方英寸)

10 (0.61)

1/8英寸 NPT、 4 VCR 、 8 VCR 、 1/2 英寸管

立方厘米( 立

方英寸)

2 (0.122)

容许压力

巴( 绝对)

10，限于惰性气体

容许温度

操作

℃

+5 … +60

真空连接 ¹⁾

℃

80 / 250 ²⁾

存储

℃

–20 … +65

安装方向

任意

防护等级

IP40

重量

DN 16 ISO-KF、 7/16-20 UNF

克

80

DN 16 CF-R、 4 VCR

克

100

1/8英寸 NPT、 1/2 英寸管

克

70

8 VCR、 DN 16 ISO-KF长管

克

130

DN 16 CF-R长管

克

140