HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速响应质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称MFC）广泛应用于半导体制造、太阳能电池生产、...

SEC-E 系列数字质量流量控制器具有可靠的热传感器和电磁阀，可实现高水平的气流控制。作为一种多功能组件，SEC-E 系列质量流量控制器可用于各种行业。

S600系列数字质量流量控制器适用于各种行业和应用。S600系列可以控制广泛的流量：从3 SCCM到500 SLM，并具有各种类型的通信可用，即模拟、RS485...

压差式质量流量控制器 D500这款技术优良的质量流量控制器具备压差检测功能和压电驱动阀。 CRITERION D500 适用于一系列优良的半导体制程，具有压力补...

HORIBA SEC-N100系列数字式质量流量控制器适用于各种行业和应用。该质量流量控制器可以控制不同范围的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。

HORIBA D700MG 是一款高响应压力非敏感质量流量控制器，专为半导体及相关行业中对高精度、快响应和耐腐蚀性有严格要求的气体输送工艺而开发。

D700T是为关键半导体制造工艺设计的性能优秀的压力不敏感质量流量控制器。D700T采用了HORIBA CRITERION基于压力的流量测量和控制技术，以提供行...

新型压力补偿质量流量控制器SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能，可实现稳定的流量控制。集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复...