Alicat MCVS 防腐蚀真空气体质量流量控制器

l 气动截止阀 。 配备气动驱动的正向截止阀，以确保无泄漏。

l 腐蚀性气体相容性 。 与 30 多种纯腐蚀性气体和大多数制冷剂气体兼容的接液材料。

l 用途广泛且准确 。 对于 128 种以上的气体和 20 种自定义气体混合物，实时控制具有 NIST 可溯源精度，读数的 ± 0.5% 或满量程的 ± 0.1% 。

l 易于集成 。 定制过程端口和电气连接器，以及您选择的 EtherNet/IP 、 EtherCAT 、 DeviceNet 、 Profibus 、 Modbus （ RTU 和 TCP/IP ）或串行通信，以便轻松集成到您的工业过程中。

设备规格和定制选项

MCVS 系列性能（大多数产品）

l 可用满量程范围 ： 0.5 SCCM 至 20 SLPM

l 稳态控制范围 ：满量程的 1% – 100%

l 标准精度校准， NIST 可溯源 ：读数的 ± 0.8% 和满量程的 ± 0.2%

l 可选的高精度校准， NIST 可溯源 ：读数的 ± 0.4% 或满量程的 ± 0.2%

l 重复性 ：满量程的 ± 0.2%

l 典型控制响应时间 ：最快 30 ms

l 气动阀泄漏完整性 ：最大 1 x 10-9 atm-cc/sec 氦气

l 预热时间 ： <1 s

MCVS 系列工作条件

l 兼容气体 ： 128 多种预加载的可选气体校准

l 工作温度 ： – 10 ° C 至 +60 ° C

l 满量程工作压力 ： 160 PSIA

l 最大压差 ： 75 PSID

l 耐压 ： 200 PSIA

l 用户可选择的参考条件（默认） ： 25 ° C & 1 ATM (STP) 和 0 ° C & 1 ATM (NTP)

Alicat MCVS 防腐蚀真空气体质量流量控制器

设备范围和完整规格

设备的定制范围从 0.5 SCCM 满量程到 20 SLPM 满量程，可控范围为满量程的 1% 到 100% 。

设备特点

每个设备都包含

l 多变量过程测量 ：同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。

l 用户可更改的测量单位 ：从我们广泛的工程单位列表中更改压力、流量或温度的测量单位。

l 气体可选性 ：从我们气体列表中的 130 多种预加载 NIST 可溯源气体校准中选择您的工艺气体。

l Gas Select COMPOSER ™ ：使用我们的 Gas Select Composer ™ 固件，定义多达 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物。

l 带集成触摸板的单色背光 LCD ：使用背光显示屏和控制配置以及用户友好的集成触摸板轻松读取测量值。

l 用户可调节的设定点斜坡和限制 ：可配置的斜坡率允许根据需要控制过程变量的快或慢，可配置的设定点限制可保护过程免受无意的设定点更改。

l 用户可调节的标准温度和压力 (STP) 条件 ：快速更改参考条件，无需重新校准。

l 阀门关闭和打开 ：利用警报快速排放系统或根据需要停止所有流量。

购买时的要求 | 免费

l 可选的集成累加器和批次控制 ：每 1 毫秒汇总一次质量流量，以便随着时间的推移精确跟踪总流量，并使用批次控制来分配精确的体积。

购买时的要求 | 附加费用

l 可选的集成电位器控制 ：使用集成电位器只需转动旋钮即可调整设定值。