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不同电感耦合等离子体发射光谱仪仪器安装要求有所不同，但一般都主要包括对实验室环境、电源、通风、气体等方面的要求。
(1) 实验室环境要求环境要求主要包括环境温湿度、环境洁净状况、光及磁场干扰等。具体要求如下。
① 环境温湿度：一般室温要求维持在10～25℃间的一个固定温度，温度变化应小于±1℃，最佳工作温度为(20±2)℃。实验室湿度要求在20%～80%，无冷凝，仪器最佳工作湿度范围为35%～50%。实验室最好配备空调等，在相对湿度较大的地区应配备去湿机。
② 实验室应该保持干净。每立方米的空气，大于0.5μm的灰尘颗粒应少于36000000个。室内应无腐蚀性气体，以免腐蚀仪器。
③ 无强光干扰、振动及磁场干扰，实验室应无过多的振动，室内照明不宜太强，且避免直射日光的照射，仪器应尽量远离高强度的磁场、电场及发生高频波的电器设备，防电磁干扰等。
(2) 电源要求 各个品牌的仪器以及其附件容许的电压范围和功率都有所不同，使用前务必按照说明书的要求进行配置。一般采用三相供电系统，其中一相供应主机，一相供计算机及打印机，一相供空气压缩机及循环冷却水装置等。为了保证ICP仪的安全运行，供电线路必须要有足够大的容量，并且供电线路不与大电机，如空调机、马弗炉等共享一条供电线路，以免在这些用电设备启动时，供电线路的电压大幅度的波动，造成仪器工作不稳定。此外，为保证仪器具有良好的稳定性和操作安全。必须具有良好的接地线，接地电阻要求小于4Ω。以某品牌为例，仪器具体电源要求如下。
① 仪器主机 要求的供电电源为200～240V的稳定电源，20A，50Hz，单相，具备独立地线。应配备一单独控制仪器的断路器(建议使用空气开关)。如果用户电网电压变化过大，则用户应配置5kW以上的稳压电源。作为一台精密测量仪器，它还需要有相对稳定的电源，供电电压的变化一般不超过5%，如超过这个范围，需要使用自动调压器或磁饱和稳压器，不能使用电子稳压器，后者在电压高时产生削波，造成电脉冲，影响电子计算机、微处理器及相敏放大器的工作。
② 计算机及打印机 消耗功率大约为800W，单相。注意，计算机及打印机必须同仪器主机共用一条地线。用户应准备适合计算机及打印机使用的多用插线板，插线板必须能够接人独立地线。
③ 循环冷却水装置 电源要求：220/240V，50Hz，15A，单相。
④ 空气压缩机 电源要求：220/240V，50Hz，6A，单相。
(3) 排风要求 抽风系统对于电感耦合等离子体发射光谱仪实验室是非常重要的，因为电感耦合等离子体发射光谱仪等离子体部分一般会产生有害气体，抽风系统可以保护实验室工作人员健康，保护仪器不受由样品产生的腐蚀性气体的损害；同时，抽风良好，可以改善等离子炬的稳定性，排除仪器产生的热量。对于ICP原子发射光谱仪器抽风系统主要应考虑满足以下要求。
① 抽风系统材料应可能会承受的最高温度为200℃，建议采用不锈钢的通风管道。
② 在通风管道末端通风罩处的流速，要求有较大的排风量，如MACYLAB公司ICP-6800排风量要求不小于5600L/min。抽风系统的通风罩，应能够将仪器样品仓的排风口罩住，通风罩应安装在仪器样品排风口上端5～10cm处。
③ 在适当的通风情况下，仪器扩散到实验室的热量大约相当于2200w。
(4) 气体要求
① 氩气 目前，电感耦合等离子体发射光谱仪一般采用氩气作为工作气体，仪器需要使用较大量的氩气，工作状态下氩气流量一般为15～20 L/min，一钢瓶氩气大约使用5～6h，如经常需要连续开机操作，建议配备大型罐装液氩。此外，还应准备至少一块氩气减压阀及足够的氩气，减压阀的低压表显示的最大刻度值应为2～4MPa。一般使用高纯氩气，纯度要求为99.99%以上。
② 吹扫气体 (有些仪器做紫外区波长需要通气对光学系统扫) 吹扫气用氮气或氩气，使用高流量时流量为3L/min，正常使用时流量为0.5 L/min。气体纯度要求为99.999%。如果用户需要进行光路吹扫，应准备一块气体减压阀及大约三瓶吹扫气体，减压阀的低压表显示的最大刻度值应为2～4MPa。
(5) 实验室空间的要求 早期的ICP仪器一般为立式，随着仪器小型化发展，目前大多数为台式。仪器长宽高尺寸为70～150cm，仪器净重200～300kg，用户必须根据生产厂家提供仪器尺寸及重量，准备能够安全承载并适合长期放置仪器主机的工作台(可以采用耐腐蚀可承重仪器台或水泥工作台)。
放置仪器的工作台，前边应留有足够的空间进行仪器的操作，左边及后边应至少留出50cm的空间，右边应至少留出70cm的空间，以便进行调试及维修。计算机及打印机应在靠近仪器主机的旁边。由于循环冷却水装置和空气压缩机有一定的噪声，建议在实验室内建一隔断.
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