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EUCHNER AY-OS-LSR-156915光栅对准辅助设备工作原理

来源:上海维特锐实业发展有限公司   2025年05月30日 15:06  

    在工业自动化与精密制造领域,光栅对准技术是实现高精度加工与检测的核心环节。德国安士能公司(Euchner)推出的AY-OS-LSR-156915光栅对准辅助设备,凭借其较好的光学性能与人性化设计,成为激光加工、半导体制造及科研实验中精密工具。

一、产品核心技术与工作原理

AY-OS-LSR-156915基于莫尔条纹光学原理实现亚微米级位移测量。设备内置标尺光栅与读数头,当两者发生相对位移时,交叉光栅线纹产生明暗相间的干涉条纹。通过高精度光电传感器捕捉条纹变化,系统可实时计算位移量,精度可达0.1μm。其双光束冗余设计(2束光路)确保检测可靠性,即使单束光路受阻,设备仍能正常工作。

设备支持透射式与反射式光栅自由切换,适应不同安装场景。透射式光栅将光源与接收装置分置两侧,适合开放空间;反射式光栅则集成光源与接收器,适用于紧凑型设备。此外,设备采用蜗轮蜗杆微调机构,传动比达100:1,用户转动蜗杆100°即可实现光栅1°的精准调整,告别传统手工校准的误差困扰。

二、技术参数与性能优势

参数规格

光束数2束(冗余安全设计)

保护区域高度510 mm(覆盖大面积检测需求)

检测范围12 m(长距离安全监测)

响应时间≤3 ms(快速响应障碍物)

工作电压DC 24V ±20%(兼容工业电源)

电流400 mA(低功耗设计)

防护等级IP65/IP67(防尘防水,适应恶劣环境)

环境温度-30°C 至 55°C(宽温工作范围)

安全标准符合EN ISO 13849-1,性能等级PL c,安全完整性等级SIL 1

接口M12接插头(5针发送器/8针接收器,支持热插拔)

性能亮点:

抗振动设计:金属外壳与锌合金齿轮箱组合,通过10g振动测试(10-500Hz),确保工业现场稳定性。

温度补偿:内置温度传感器,自动修正光栅热膨胀误差(-30°C至55°C范围内精度波动≤0.5μm)。

多轴联动:支持X/Y/Z三轴同步调整,通过PLC控制器可编程设定运动轨迹,适配复杂光路系统。

三、应用场景与解决方案

工业自动化

激光加工:在激光切割、焊接中,设备可实时校准光束路径,确保加工精度±0.01mm。

半导体制造:用于光刻机光路对准,减少芯片缺陷率至0.001%以下。

机器人安全防护:检测人员或异物进入危险区域,响应时间≤30ms,远低于行业平均水平(50ms)。

医疗设备

手术机器人:辅助显微外科手术中光学器械的精准定位。

光学仪器校准:用于内窥镜、显微镜的光路调试,提升诊断准确性。

科研与测量

光谱分析:在光谱仪中校准光栅角度,分辨率提升至0.01nm。

干涉仪校准:配合ZEISS SPECTRUM三坐标测量机,实现纳米级表面形貌检测。


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