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脱气站 | 站个数:3个或6个 加热温度:室温-430°C,6站的BELPREP VAC Ⅲ 最高到450°C 温度设置精度:1°C 环境温度:10-35°C(操作);0-50°C(存放) |
真空泵系统 | 采用机械泵,最低真空:≤10-3mmHg |
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