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材料视界 | 光学镀膜175-50000nm全波段光学透射反射性能检测方法进展

阅读:93      发布时间:2025-5-30
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随着智能穿戴设备、消费电子设备应用兴起,生物识别、物联网、自动驾驶、国防/安防等领域对光电镀膜材料的需求日益旺盛。不同行业根据使用场景,对光学镀膜的性能提出了更加多样化的需求,越来越多需要测试镀膜样品的变角度透射、变角度反射信号。传统变角度反射测试一般为相对反射率测试,需要通过参比镜进行数据传递,往往参比镜在不同角度下的绝对反射率曲线很难获取,给测试带来很大困难,同时在数据传递中也会增加误差的来源。



本文主要介绍采用珀金埃尔默紫外可见近红外光谱仪和Spectrum 3中红外傅里叶变换红外光谱仪配置TAMS可变角度测试附件,直接测试样品不同角度下绝对反射率、透射率曲线,可以实现175nm-50000nm下透射率、反射率等光学性能表征,无需参比镜校准,操作简单方便,测试结果更加准确。


TAMS附件为变角度绝对反射、变角度透射测试附件,如下图所示,检测器和样品台均可以360度旋转,通过样品台和检测器配合旋转,测试不同角度下透射和反射信号。

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珀金埃尔默Lambda 1050+光谱仪

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TAMS绝反变角度透射反射附件光路图

图1  仪器外观图


以下分别选取不同应用场景下的典型样品,对测试数据进行简要介绍。



01

样品变角度透射测试

采用TAMS附件可以方便快捷的测试样品不同角度下透射数据,自动测试样品不同角度下P光和S光下透射率曲线,一次设置即可完成所有角度在不同偏振态下透射率曲线测试,无需多次操作,测试曲线如下图所示。

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图2  样品不同角度和偏振态下透射率测试数据

(点击查看大图)


珀金埃尔默紫外光谱仪配套TAMS及偏振附件,可以测试样品不同波长下偏振信号。

如下图测试石英片样品45度下紫外波段P光和S光反射数据,测试结果如下:

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图3  样品紫外波段P光和S光偏振测试

(点击查看大图)



02

样品变角度透射/反射曲线测试

同一个样品,可以通过软件设置一次性测试得到样品透射和反射率曲线,如下图所示,该样品在可见波长下反射率大于99.5%,透射率低于0.5%,可同时表征高透和减反性能。

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图4  样品45度透射和反射曲线测试

(点击查看大图)



03

NIST标准铝镜10度反射率曲线测试

采用TAMS附件测试NIST标准铝镜10度下反射率曲线,如下图所示,黑色曲线为TAMS测试曲线,红色为NIST标准值曲线,两条数据曲线基本重合,进一步证明测试系统的可靠性,可以准确测试样品的光学数据。


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图5  NIST标准铝镜10度反射率曲线测试

(红色为NIST标准曲线)(点击查看大图)



04

样品变角度全波长反射曲线测试(200-2500nm)

软件设置不同的测试角度和偏振方向,自动测试样品不同角度下P光和S光偏振态下反射率曲线,如下图所示,200-2500nm整个波段下测试曲线均有优异信噪比,尤其是在紫外区(200-400nm),可以完成各波长范围的反射性能测试。

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图6  样品全波段(200-2500nm)

变角度反射率测试(点击查看大图)



05

不同膜系设计的镀膜样品性能验证

测试样品600-1400nm下45度反射率曲线,该样品在1200nm以上属于高反射率,反射率大于99.5%,同时需要关注600-1200nm范围各个吸收峰情况,该波段下吸收峰非常尖锐,同时吸收峰较多,需要仪器具备高分辨率,从而准确测试出每一个尖锐吸收峰信号。

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图7  膜系设计验证样品45度反射率测试

(点击查看大图)



06

双向散射分布函数(BSDF)测试

除了测试常规变角度透射和反射曲线外,TAMS附件可以自动测试样品不同角度下透射和反射率信号,可以得出样品不同角度下的透射分布函数(BTDF)和反射分布函数(BRDF)信号,最终得到双向散射分布函数(BSDF)。采用该附件可方便测试样品双向散射分布函数(BSDF)、双向反射分布函数(BRDF)、双向透射分布函数(BTDF)等光学参数测试,测试结果如下图所示:

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图8  BRDF和BTDF测试

(点击查看大图)


如下图所示,测试样品不同波长下BSDF分布函数曲线(BRDF + BTDF),从而可以得出样品随不同角度下透射和反射信号变化情况。

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图9  样品不同波长下BSDF(BRDF+BTDF)测试

(点击查看大图)



07

窄带滤光片测试

Lambda系列光谱仪为双样品仓设计,TAMS附件可与标准检测器、积分球检测器自由更换。对于窄带滤光片样品,即需要准确测设带通区域的透过率、半峰宽,也需要准确测试截止区吸光度值(OD值),可直接切换标准检测器进行检测。

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图10 用于激光雷达的镀膜镜片透射

和OD值测试数据(点击查看大图)



08

红外波段区变角透射反射测试

珀金埃尔默傅里叶变换红外光谱仪,可广泛应用于上述红外材料光学性能测试,可测试样品在不同波段下红外透光率以及反射率,搭配变角透射及变角反射附件,可以实现不同角度下透射率及反射率测试

如下图为红外波段透射和反射测试曲线:

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(点击查看大图)

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Summary


综上,采用Lambda系列紫外/可见/近红外分光谱仪以及傅里叶红外光谱仪,搭配TAMS、标准检测器、积分球等多种采样附件,可以组合出完备的材料光学性能测试平台,满足光学镀膜测试的多样化需求更加准确便捷的得到样品的光学检测数据。


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