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日本FLUORO福乐适用于微小玻璃片和晶元的吸嘴吸盘

2025-4-10  阅读(201)

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它由真空泵FV-W和真空镊子C007组成。

●无需设置单独的泵进行吸入和排出,而是在一个系统中兼用,因此可以实现紧凑的机身。

●由于该结构将吸入和排出两个回路连接到一个组合连接器(双管),因此只需一根管子即可吸入和排出。

四、应用领域

▌ 半导体制造

  • 晶圆蚀刻(10⁻⁶ mbar超高真空)

  • 镀膜设备(分子泵+低温泵组合)

▌ 医疗设备

  • MRI超导磁体抽真空

  • 真空冷冻干燥机(-80℃工况)

▌ 科研实验

  • 粒子加速器(10⁻¹⁰ mbar)

  • 太空环境模拟舱

▌ 工业产线

  • 食品真空包装(10⁻² mbar)

  • 锂电池注液除气泡

  • 技术趋势

  • 智能化:AI预测性维护(准确率>95%)

  • 微型化:MEMS真空泵(芯片级尺寸)

  • 绿色技术:无氟润滑剂应用

  • 混合系统:涡旋+吸附泵复合抽气

  • 结论:真空泵作为现代工业的"真空心脏",其技术发展直接推动半导体、新能源等产业进步。干式、节能、智能化将成为未来主流方向。

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