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日本FLUORO福乐适用于微小玻璃片和晶元的吸嘴吸盘
2025-4-10 阅读(207)
它由真空泵FV-W和真空镊子C007组成。
●无需设置单独的泵进行吸入和排出，而是在一个系统中兼用，因此可以实现紧凑的机身。
●由于该结构将吸入和排出两个回路连接到一个组合连接器（双管），因此只需一根管子即可吸入和排出。
四、应用领域
▌ 半导体制造
晶圆蚀刻（10⁻⁶ mbar超高真空）
镀膜设备（分子泵+低温泵组合）
▌ 医疗设备
MRI超导磁体抽真空
真空冷冻干燥机（-80℃工况）
▌ 科研实验
粒子加速器（10⁻¹⁰ mbar）
太空环境模拟舱
▌ 工业产线
食品真空包装（10⁻² mbar）
锂电池注液除气泡
技术趋势
智能化：AI预测性维护（准确率>95%）
微型化：MEMS真空泵（芯片级尺寸）
绿色技术：无氟润滑剂应用
混合系统：涡旋+吸附泵复合抽气
结论：真空泵作为现代工业的"真空心脏"，其技术发展直接推动半导体、新能源等产业进步。干式、节能、智能化将成为未来主流方向。
