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高斯摩(成都)国际贸易有限公司
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【高斯摩分享】科赋乐得质量流量计介绍
2025-5-22 阅读(87)
1. 公司背景
KOFLOC科赋乐是日本流量控制设备制造商，专注于质量流量计（MFM）、质量流量控制器（MFC）和精密阀门的研发生产，产品以高精度、低压损、长寿命著称，广泛应用于半导体、光伏、医疗和化工等领域。
2. 技术优势
热式技术（气体）：
基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。
低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。
压差式技术（液体）：
通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。
耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能：
数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自诊断报警（流量超限、传感器异常）。
3. 典型应用场景
3.1 半导体制造
案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。
配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。
3.2 光伏产业
案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。
挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。
方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
3.3 医疗设备
案例：呼吸机氧气流量监测（Mini系列）。
关键参数：0.1~10 SLM范围，医用级洁净度（ISO 13485认证）。
3.4 化工流程
案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。
材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
4. 选型与安装指南
4.1 选型关键参数
介质类型：
气体：需明确分子量（影响热式传感器校准）。
液体：考虑粘度（压差式适用＜50 cP）。
流量范围：
实际流量应处于量程的10%~90%（避免低端非线性区）。
环境要求：
防爆（化工）、洁净度（医疗）、IP防护等级（户外）。
4.2 安装注意事项
气体流量计：
安装方向：垂直向上（避免冷凝液积聚）。
前后直管段：≥5D（前）、≥3D（后）。
液体流量计：
避免气泡干扰（顶部安装排气阀）。
泵振动隔离（软管连接减震）。
4.3 校准与维护
定期校准：
气体：使用皂膜流量计或标准气体（如NIST可溯源）。
液体：称重法或容积法校准。
传感器维护：
热式：每年清洁探头（异丙醇擦拭）。
压差式：检查层流元件是否堵塞。
