精品视频一区二区三区 KASHIYAMA日本樫山真空泵MU300XE的特点
无油洁净:采用无油干式技术,通过精密啮合的螺杆式 / 爪式转子结构实现气体压缩,全程无润滑油,可避免油蒸气对工艺腔体的污染,适用于如晶圆加工等对洁净度要求的敏感工艺。
抽速高:最大抽速可达 3000L/min,能够快速有效地抽取气体,可适应中高负载的真空需求,满足如真空镀膜系统、等离子清洗设备等对抽气速度有较高要求的设备。
极限压力低:极限压力为 1.5Pa,可获得较高的真空度,能满足一些对真空环境要求较为苛刻的工艺需求。
耐腐蚀:转子与腔体采用不锈钢镀层或陶瓷涂层,能够耐受酸性气体(如 HCl、Cl₂)和颗粒物,可应用于有腐蚀性气体的环境。
节能高效:配备低功耗电机,功率约 0.5kW,运行能效比优于同类产品;同时采用变频驱动(VFD)调节转速,能耗较油封泵可降低 30% - 50%。
结构紧凑:尺寸为 550×280×299mm,重量约 95kg,占地面积小,便于安装在空间有限的设备中,适合设备集成和改造项目。
智能控制:具有实时参数显示功能,可通过触摸屏或远程接口(Modbus / 以太网)输出真空度、温度、功耗等数据;还配备自诊断系统,通过振动、温度传感器对异常情况(如过载或异物进入)进行预警,并自动停机保护。
维护便捷:采用模块化结构,简化了检修流程,无需复杂的拆卸和组装过程,可降低维护成本和停机时间。
电源适应性强:电源为三相 AC200 - 220V,50/60Hz,能适应多种电力供应环境,方便在不同地区和场合使用。
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