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湖北微化装备科技有限公司

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碳化硅微通道反应器技术要求

阅读:517      发布时间:2024-08-05
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碳化硅微通道反应器质量标准

1 外观质量要求

1.1 微反应器的外观无明显缺陷。

1.2 微反应器通道的接口处圆滑无毛刺。

1.3 微反应器连接管道的外表面光滑、无划伤、压痕。

2. 技术指标

碳化硅通道模块及微反应器的技术指标应符合表12、表3的要求。

1 通道模块技术指标

项目

指标

碳化硅含量 %

≥99.5

游离硅含量 %

≤0.1

二氧化硅含量 %

≤0.3

三氧化二铁含量 %

≤0.1

体积密度 (g/cm³)

≥3.10

导热系数 (W/m ·k)

≥115

气孔率/%

≤0.1

2 碳化硅微反应器技术指标

项目

指标

气密性12 MPa压力下保持60 min的压/MPa

≤0.1

密闭耐压力/MPa

≥2.5

耐受温度/℃

-40~180

3 耐腐蚀参数

腐蚀介质

温度

腐蚀速率  mg/(cm² ·a)

90% H₂SO₄

100

≤1.8

95% H₃PO₄

100

≤0.2

54% HF

25

≤0.2

50% NaOH

100

≤2.5

45% KOH

100

≤0.2

70% HNO

100

≤0.2

37% HC1

86

≤0.2

10% HF 60% HNO₃

25

≤0.2









3 安全要求

3.1 微反应器应有安全防护外壳,在微反应器运行时应保证人员无法直接触碰到碳化硅反应器芯片。

3.2 微反应器应有防液体飞溅装置,在出现漏液或喷液等情况下能够有效保护人员。

3.3 微反应器应有温度显示装置,能显示任意一组反应单元的反应温度。

3.4 微反应器进、出液接口以及单元连接管路应采用压紧、锁紧或螺纹式连接所有接口密封耐压能力不应低于5 MPa



提供商

湖北微化装备科技有限公司

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