1.1 微反应器的外观无明显缺陷。
1.2 微反应器通道的接口处圆滑无毛刺。
1.3 微反应器连接管道的外表面光滑、无划伤、压痕。
碳化硅微通道模块及微反应器的技术指标应符合表1、表2、表3的要求。
表 1 微通道模块技术指标
项目 | 指标 |
碳化硅含量 % | ≥99.5 |
游离硅含量 % | ≤0.1 |
二氧化硅含量 % | ≤0.3 |
三氧化二铁含量 % | ≤0.1 |
体积密度 (g/cm³) | ≥3.10 |
导热系数 (W/m ·k) | ≥115 |
气孔率/% | ≤0.1 |
表 2 碳化硅微反应器技术指标
项目 | 指标 |
气密性（12 MPa压力下保持60 min的压降）/MPa | ≤0.1 |
密闭耐压力/MPa | ≥2.5 |
耐受温度/℃ | -40~180 |
表 3 耐腐蚀参数
腐蚀介质 | 温度℃ | 腐蚀速率 mg/(cm² ·a) |
90% H₂SO₄ | 100 | ≤1.8 |
95% H₃PO₄ | 100 | ≤0.2 |
54% HF | 25 | ≤0.2 |
50% NaOH | 100 | ≤2.5 |
45% KOH | 100 | ≤0.2 |
70% HNO₃ | 100 | ≤0.2 |
37% HC1 | 86 | ≤0.2 |
10% HF 和 60% HNO₃ | 25 | ≤0.2 |
3.1 微反应器应有安全防护外壳，在微反应器运行时应保证人员无法直接触碰到碳化硅反应器芯片。
3.2 微反应器应有防液体飞溅装置，在出现漏液或喷液等情况下能够有效保护人员。
3.3 微反应器应有温度显示装置，能显示任意一组反应单元的反应温度。
3.4 微反应器进、出液接口以及单元连接管路应采用压紧、锁紧或螺纹式连接所有接口密封耐压能力不应低于5 MPa。
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