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KASHIYAMA从轻负荷到蚀刻CVD适用真空泵工艺耐受性优良节能泵从轻负荷到蚀刻·CVD可广泛使用搭载HOT-N2吹扫的MU-H系列

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KASHIYAMA耐工艺节能干式真空泵工艺耐受性优良节能泵从轻负荷到蚀刻·CVD可广泛使用搭载HOT-N2吹扫的MU-H系列

KASHIYAMA干式真空泵MU-P/H系列工艺耐受性优良节能泵从轻负荷到蚀刻·CVD可广泛使用搭载HOT-N2吹扫的MU-H系列

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KASHIYAMA干式真空泵MU-X系列节能，省电世界！！（※排气速度同级）可嵌入所有制造装置2万台以上的出货和超长期运行实绩

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KASHIYAMA省能型大排气量真空泵SDE系列立式螺杆特殊材料的高耐腐蚀性以螺杆形状节省能源支持所有进程

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