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【小王子上新】UPC系列UPC-4CW2-C150H
2025-2-17 阅读(292)
【小王子上新】UPC系列UPC-4CW2-C150H
应用
任何压力都可以通过电信号设定。
当多个质量流量连接到一条管线时，压力会被调整，以使气体流量的快速波动不会影响其他质量流量。
可用作晶圆背面冷却的控制器。
用于下游压力控制。
特征
●工作原理：内置压力传感器，保持压力恒定。
●可通过电信号设定任意压力。
●在质量流量控制器的上游连接时，可以进行非常稳定的流量控制。
●当多个质量流量控制器连接到一条线路时，气体流量的突然波动可能会影响其他质量流量控制器。在这种情况下，使用 UPC 系列可以防止这种影响（下游压力控制型）。
●UPCUS（上游压力控制型）保持MO-CVD等液源的内部压力恒定，提高汽化量的稳定性。
●可用作晶片背面冷却的控制器。还提供带流量监控器的高温型（150°C、250°C）。
●可用于从半导体、平板显示器、太阳能电池板等技术产业到一般产业的广泛领域的压力控制。
●兼容DeviseNet TM接口（请注明）。符合 RoHS 标准：本产品符合 RoHS 规定并且是环保的。
规格
| 模型 | UPC （下游压力控制器） | FCST1050(M) ZFFCST1050(M)ZD(DeviceNet) | |
|---|---|---|---|
| 压力范围 | FS 13.3kPa abs.(100Torr) | FS 150/300/500kPa | FS 150/300/500kPa |
| 控制压力范围 | 1 到 100% | 1 至 100% *1 | |
| 控制阀CV值 | - | L型：0.0055 / M型：0.011 / H型：0.03 | |
| 压力调节系统 （自动调零后） | 1～40%：±0.2%FS 40～100%：±0.5%SP | FS 150kPa abs. [1 至 40%：±0.2%FS，40 至 100%：±0.5%SP] FS 300/500kPa abs. [1 至 20%：±0.1%FS，20 至 100%：±0.5% SP] | |
| 供气压力范围 | 0 至 200kPaG | ～897.3kPaG | - |
| 耐压性 | 200kPaG | 1MPaG | |
| 外部泄漏 | ＜1.0×10 -10 Pa･m3 /sec | ||
| 使用温度范围 | 0～50℃（系统保证温度范围：15～35℃）*2 | ||
| 电源电压、电流消耗 | +15VDC：120mA，-15VDC：120mA DeviceNet：+11 至 25VDC，4.0W | ||
| 压力设定/输出信号 | 0-10VDC/0-10VDC | 0-5VDC/0-5VDC | |
| 接液部分材料 | SUS316L，镍钴合金 | SUS316L，镍钴合金，FS9 | |
| 连接配件/尺寸 | 1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (124mm) | 1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (106, 124mm), 1.125W-Seal (92mm) | |
