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PRECESS 普瑞赛思 远程等离子控制阀（V41系列）
该产品采用 集成式控制器 设计，它 将控制器与阀门本体集成在一起，减少了外部布线和连接的复杂性，提高了系统的可靠性和稳定性，同时也便于安装、调试和维护。
特点
l 半标准应用（半E21-94、半 E24-92 、半 E21.1-1296）
l 无颗粒，提供极其干净的理想进气室
l 100万个使用寿命周期
l 高真空角阀
l 气动执行器，双作用
l 智能模块化设计，易于维护
选 项
l 白色硬质阳极氧化表面处理
l 可定制开口尺寸
l 各种O型圈 [Kalrez 、 Chemrazetc.]
应用
l 半导体加工
l 所有CVD工艺（包括 MO 、 PE 、 HDP 、 LP 和 AP ）
l 太阳能工艺制造
l 所有其他集群和内联真空系统
PRECESS 普瑞赛思 远程等离子控制阀（V41系列）
技术参数
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执行器 |
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气动 |
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阀体材质 |
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不锈钢 |
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馈通 |
不锈钢 |
波纹管 |
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阳极氧化铝 |
O 型圈轴 |
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标准法兰 |
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ISO-F,CF-F,ASA-LP, JIS |
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泄漏率 |
不锈钢 |
< 1 × 10-9 mbar l/s |
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阳极氧化铝 |
< 1 × 10-9 mbar l/s |
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压力范围 |
不锈钢 |
1 × 10- 8 mbar to 2 bar |
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阳极氧化铝 |
1 × 10- 8 mbar to 1. 2 bar |
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闸门开启方向的 压差 |
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≤ 1.2bar |
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闸门关闭方向的压差 |
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≤ 1.2bar |
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开口处的压差 |
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≤ 1bar |
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first使用前的生命周期 |
不锈钢 |
≥ 3 0 0,000 |
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阳极氧化铝 |
≥ 1 0 0,000 |
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温度 |
不锈钢 |
阀体 |
≤ 1 5 0 °C |
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阀门 |
≤ 1 5 0 °C |
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执行器 |
≤ 1 2 0 °C |
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阳极氧化铝 |
阀体 |
≤ 1 5 0 °C |
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阀门 |
≤ 1 5 0 °C |
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|
执行器 |
≤ 1 2 0 °C |
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材质 |
不锈钢 |
阀体 |
AlSI 304 (1.4301) |
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阀门 |
AlSI 304 (1.4301) |
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阀帽 |
AlSI 304 (1.4301) |
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阳极氧化铝 |
阀体 |
EN AW-6061（3.3211） |
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阀门 |
EN AW-6061（3.3211） |
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阀帽 |
EN AW-6061（3.3211） |
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表面处理 |
不锈钢 |
阀体 |
电解抛光 |
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阀门 |
Bare |
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阀帽 |
电解抛光 |
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阳极氧化铝 |
阀体 |
白色硬质阳极氧化 |
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阀门 |
白色硬质阳极氧化 |
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阀帽 |
白色硬质阳极氧化 |
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密封 |
不锈钢 |
FKM（Viton®）或根据要求 |
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阳极氧化铝 |
F F KM（ Kalrez ® 9500 ） |
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安装位置 |
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任意 |
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电磁阀 |
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24 VDC 或 应要求 |
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位置指示器 |
类型 |
簧片开关 |
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电压 |
12V/24VDC或应要求 |
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电流 |
5 - 5 0 mA |
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连接器 |
AMP 4P mate/D- Sub 9P m ale |
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压缩空气连接 |
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快速连接器 O.D. 4 mm |
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2
