热式质量流量计和控制器利用流体（包括气体和液体）的热导率来确定质量流量。与体积流量测量装置例如吹扫仪表（可变面积-VA流量计）或涡轮仪表不同，热式质量流量计（MFMs）和质量流量控制器（MFCs）相对受流入介质的温度和压力波动影响较小。

热式质量流量计和控制器工作原理

热式质量流量计/控制器可提供质量流量的直接测量，与大多数其他测量体积流量和需要单独测量温度和压力来换算密度并最终计算质量流量的原理不同。

质量流量仪表实际在分子水平上测量和控制流量，可向工艺流程提供准确、可重复和可靠的气体输送。

热式质量流量计和控制器可分为3种不同的传感器原理：

1.气体热式质量流量传感器，使用旁路原理

2.气体热式质量流量传感器，使用直通/CTA原理

3.液体热式质量流量传感器，使用直通/CTA/CPA原理