砷化氢（AsH₃）0-1ppm（高毒）
确定量程范围
（1）爆炸性气体（LEL检测）

适用气体：可燃气体（如硅烷、氢气等）。

量程设置：

0-100% LEL（常规安全监测）。

0-10% LEL（高灵敏度预警）。

超过100% LEL（需稀释或使用NDIR/热导检测）。

（2）剧毒气体（ppm/ppb级检测）

适用气体：高毒性气体（如砷化氢、光气、氟气等）。

量程设置：
砷化氢（AsH₃）的TWA=0.05 ppm，量程设为0-1 ppm。

职业健康标准（OEL）：如TWA（8小时均值）、STEL（短时暴露限值）。

惰性/特殊气体（体积浓度或高纯度检测）
适用气体：六氟化硫（SF₆）、氦气（He）、氩气（Ar）等。

量程设置：泄漏检测：0-1000 ppm（如SF₆检漏）


校准与验证

• 标准气体：必须使用已知浓度的特气标准气校准（如5 ppm PH₃平衡氮气）。

• 零点校准：在纯净空气或高纯氮气环境下进行。

特殊案例

（1）硅烷（SiH₄）

• 爆炸风险：LEL=1.5%，自燃温度<54℃。

• 量程建议：

• 安全监测：0-2% vol。

• 微量泄漏：0-50 ppm（电化学或NDIR）。

（2）磷化氢（PH₃）

• 剧毒：TWA=0.3 ppm，IDLH=50 ppm。

• 量程建议：

• 常规监测：0-10 ppm（电化学）。

• 高浓度预警：0-100 ppm（PID或NDIR）。

（3）六氟化硫（SF₆）

• 温室气体：需检测微量泄漏。

• 量程建议：

• 检漏模式：0-100 ppm（NDIR）。
  总结：需具体情况具体分析，结合各气体的气体性质，寻求合适的传感器来设
  计量程范围