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牛津电子束镀膜机的日常维护与保养指南
阅读：130 发布时间：2025/5/26
牛津电子束镀膜机的日常维护与保养指南如下：
一、日常维护
清洁真空室：
定期清洁真空室，避免污染物积累影响镀膜质量。
清洁时，尽量抹干并烘干，确保真空室内部干燥。
检查油液：
定期更换扩散泵油、真空泵及罗茨泵油，确保泵体正常运行。
更换前需确认真空度和油温状态，避免产生安全问题。例如，更换扩散泵油前一定要确认真空度是否低于1×10²Pa，且扩散泵里面的油温是否冷却到常温状态。
检查密封圈：
经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈。
定期给动密封处加上真空脂，以保持密封性能。
检查电气元件：
定期检查电气元件，清除灰尘。
更换烧坏的元器件，确保电路正常运行。
检查水路与气路：
定期检查水路、气路是否正常，确保无漏滴现象。
在寒冷季节或长时间停机时，需用压缩气体将冷却水赶出冷却管道、泵体，以免冻裂。
保持真空状态：
平时整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，避免真空室长期暴露在大气中。
二、保养指南
记录使用信息：
在使用过程中，如实记录必要的信息，如开机时腔体的真空度、蒸镀前所抽至的最低真空度等。
定期检查真空管道和阀门：
定期检查真空管道和阀门，确保无泄漏现象。
注意操作安全：
操作人员应穿着整洁，袖口扣紧，避免穿戴拖鞋、高跟鞋等可能影响安全的服饰。
在操作过程中，应严格遵守设备操作规程和安全操作规程。
正确关闭设备：
镀膜完成后，按照正确的顺序关闭设备，如先关闭电子束高压开关，再关闭总电源等。
处理停机情况：
设备中途停水、停气或停电时，应立即采取相应措施，如关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵等，让维持泵继续运行，以保护设备。