资料下载
日本yamamoto-ms电镀溶液应力测试设备解析
阅读:412 发布时间:2021-6-4提 供 商 | 秋山科技(东莞)有限公司 | 资料大小 | 28.2KB |
---|---|---|---|
资料图片 | 下载次数 | 1次 | |
资料类型 | JPG 图片 | 浏览次数 | 412次 |
免费下载 | 点击下载 |
日本yamamoto-ms电镀溶液应力测试设备解析
通过用传感器测量基板的应变,实时测量镀层的内应力。
可以通过一次测量测量每个电镀时间的应力(膜厚)。 也可以在已镀过一次的薄膜上重新镀时测量应力。 可以测量微小的压力,这是传统压力计无法实现的。 精密电镀电源YPP系列的插槽中插入专用的应力计板以供使用。
特征
● 符合JIS H8626 标准。
● 即使在微弱的压力下也能进行测量。
适用于测量薄膜和晶圆等薄弱产品。
(从0.5μm以上的膜厚开始可以进行精密测量)
●也可以测量其他方法无法测量的初始应力。
● 适用于精细零件。
● 传感器获得的数据立即输入到与电源相连的PC 上,PC 自动计算出应力值,无需任何计算。
此外,正在测量的数据使用个人计算机实时显示和累积。
电源及压力测量板规格
输入电压 | AC100-200V ± 10% (50 / 60Hz ± 5%) |
输出电压/输出电流 | DC0~15V/0~10A |
低分辨率 | 1mA / 10mV / 0.1mC |
温度控制功能 | 1KW(ON/OFF控制/PID控制) |
体重 | 8.8KG |
支持的操作系统 | 与 Windows 8 和 10 兼容 |