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日本yamamoto-ms电镀溶液应力测试设备解析

阅读:412          发布时间:2021-6-4
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日本yamamoto-ms电镀溶液应力测试设备解析

通过用传感器测量基板的应变,实时测量镀层的内应力。

可以通过一次测量测量每个电镀时间的应力(膜厚)。 也可以在已镀过一次的薄膜上重新镀时测量应力。 可以测量微小的压力,这是传统压力计无法实现的。 精密电镀电源YPP系列的插槽中插入专用的应力计板以供使用。

特征

● 符合JIS H8626 标准。
● 即使在微弱的压力下也能进行测量。 适用于测量薄膜和晶圆等薄弱产品。 (从0.5μm以上的膜厚开始可以进行精密测量)
●也可以测量其他方法无法测量的初始应力。
● 适用于精细零件。
● 传感器获得的数据立即输入到与电源相连的PC 上,PC 自动计算出应力值,无需任何计算。 此外,正在测量的数据使用个人计算机实时显示和累积。

电源及压力测量板规格

输入电压 AC100-200V ± 10% (50 / 60Hz ± 5%)
输出电压/输出电流 DC0~15V/0~10A
低分辨率 1mA / 10mV / 0.1mC
温度控制功能 1KW(ON/OFF控制/PID控制)
体重 8.8KG
支持的操作系统 与 Windows 8 和 10 兼容

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