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德国Lamtech平面度仪如何实现平面度的测量?
阅读:1346 发布时间:2024-1-29
德国Lamtech平面度仪如何实现平面度的测量?
德国Lamtech TOPOS 100 是一款非接触式平面度测量仪器,用于精密制造表面,具有亚微米精度。 TOPOS 平面度测量仪器满足 客观工作测量工具的要求,用于精密部件(例如燃油喷射 系统、泵或阀门)的生产和质量控制。
TOPOS 干涉仪允许对研磨、 精加工和抛光精密部件进行非接触式平坦度测量。 TOPOS 干涉仪根据光的放牧率原理运行。 也可以测量较粗糙的部件的平坦度,光学平面或菲佐干涉仪没有更多的条纹图案。 计算机根据干扰模式计算测试对象的平坦度。 在研磨或研磨部件旁边也可以测量抛光部件。 可测量多种材料: -金属(钢,铝,青铜,铜等) -陶瓷 (Al2O3, 碳化硅, 碳化硅等) -塑料材料 -等 干涉仪可放置在生产线上,靠近加工机。 在整个测量区域内,精度可达 0.1µm。
德国Lamtech平面度测量仪特点:
◆ 非接触式平面度测量接触
◆ 高精密评估: <0.4μm
◆ 测量速度快: <3秒
◆ 可用于车间现场, 100%全检
◆ 平面度评估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
◆ 三维形貌评估软件, 可支持CNC编程批量检测
◆ 表面自动识别系统, 或手动区域(圆, 圆环, 矩形区域)评估
◆ 数据采集量大, 一次完成对300,000点的评估
◆ 快速生成报告并保存为.csv数据格式, 支持Q-das等统计分析软件
◆ 广泛应用于抛光, 研磨或细磨精密表面, 像阀门盘, 密封环等
平面度检测仪技术参数:
型 号 |
TOPOS 50 |
TOPOS 100 |
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测量范围(直径) |
50mm |
100mm |
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参考平面平面度 |
优于0.06μm |
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参考面材料 |
石英玻璃 |
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灵敏度 |
0.5,1,2或4μm每纹 |
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精度 |
(0.1??0.4)um + 2%x测量值, 基于灵敏度 |
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Z轴波动范围 |
低于100um, 表面斜度所限制 |
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FLTt重复性 |
优于0.01μm1) |
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分辨率 |
优于0.01μm |
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数据采集量 |
300,000点 |
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测量时间 |
小于2s |
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整体尺寸 |
560mm X 300mm X 400mm |
680mm X 440mm X 880mm |
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重量 |
34kg |
80kg |