高纯气体分析仪适用于高纯氢、氧、氩、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等气体中痕量杂质的检测，仪器配备高灵敏度的氦离子化（PDHID）检测器，该检测器通过氦放电发射连续辐射光进行光电离、高压脉冲加速的电子直接电离组分AB产生信号，以及亚稳态氦与组分或杂质反应电离产生信号等方式，实现对被测气体的电离。被测气体进入检测器后，在放电区被激发并电离，产生的离子在电场作用下被收集，形成电信号。通过测量电信号的大小，可以得知被测气体中杂质的含量。

高纯气体分析仪采用中心切割与反吹技术，配置具有吹扫保护气路的进样切换阀和进口氦气纯化器，通过无死体积取样或在线进样方式，一次性完成上述高纯气体中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等常见杂质或C1-C4等碳氢化合物的检测，检测限达ppb级，重复性RSD≤1％。

在选择高纯气体分析仪时，应考虑仪器的灵敏度、重复性、量程范围以及自动化程度等因素。同时，还应根据实际需求选择合适的色谱柱和检测器。在使用仪器时，应严格按照操作手册进行操作，确保仪器的正常运行和检测结果的准确性。同时，还应定期对仪器进行维护和保养，延长仪器的使用寿命。