光学干涉仪是一种利用光的干涉现象来测量长度、厚度、折射率等物理量的仪器，测量原理是利用光的波动性和干涉现象，通过测量光程差的变化来测量物体的形状和表面特征。光程差是指两束光在传播过程中所经过的光程差异，它是由物体表面形状和折射率的变化所引起的。当两束光相遇时，它们会产生干涉现象，干涉图样的形状和大小与光程差有关，通过测量干涉图样的变化，可以得到物体表面的形状和特征。

 

光学干涉仪的基本组成部分包括光源、分束器、反射镜、光程差调节器和检测器。在工作时，光源发出的光线经过分束器分成两束光线，经反射镜反射后再汇合。当两束光线汇合后，由于光的波动性，它们会产生干涉现象，形成干涉图样，通过观察干涉条纹的形态和移动情况，可以计算出被测物体的长度或厚度等物理量。

 

光学干涉仪的应用非常广泛，比如在工业生产中用于测量机械零件的长度和厚度、在材料研究中用于测量材料的折射率和厚度、在生物医学中用于测量细胞和组织的长度和厚度等等。

马赫-曾德干涉仪属于一种等光程比较干涉。通过比较被测物和参考物的相位（表现为条纹的变化），从而实现被测物的物理量的测量。马赫-曾德干涉仪通常用于测量透明介质折射率的微小变化，可用于气体、液体、透明固体、冲击波及热传导等方面的研究。