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东莞市广联自动化科技有限公司
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美国MKS控制阀的特性与功能一定要知晓
2025-3-7 阅读(199)
大家对于美国MKS控制阀的特性与功能一定要知晓，接下来为大家讲述一下要点，如述：
美国MKS控制阀的特性主要包括以下几点：
精确控制：上游流量控制阀是比例控制阀，设计用于精确控制过程中上游的气流。
减少污染和腐蚀：使用保证外部泄漏率小于1x10-10atmcc/sec(He)的金属密封件以避免污染和腐蚀。
高温运行能力：148高温阀可在150°C的过程温度下运行。
调节功能：当与MKS控制器和适当的流量传感器一起使用时，248D阀门可调节气体流量，同时保持准确和精确的压力或流量。
易维护性：248D阀门的节流孔无需特殊工具即可轻松调节或更换。
广泛的流量范围：满量程流量范围为10-50,000标准立方厘米，最小可控流量根据不同情况分别为0.2%满量程（小于100sccm）、0.1%满量程（100至10,000sccm）和小于2%满量程（大于10,000sccm）。
密封材料多样性：提供多种密封材料选项，如Viton、氯丁橡胶、Buna-N或Kalrez，以适应不同的应用需求。
工作温度范围：工作温度范围为-10至60°，适应多种环境条件。
以上特性使得美国MKS控制阀成为半导体器件生产、平板显示器、光学储存介质、玻璃镀膜、光电产品等生产设备及制药和医学成像设备的理想选择。
美国MKS控制阀是一种精密的流量控制设备，主要用于半导体器件生产、平板显示器、光学储存介质等领域。
美国MKS控制阀的功能主要包括以下几个方面：
精确控制气流：MKS控制阀能够精确控制过程中上游的气流，这对于维持稳定的工艺环境至关重要。
减少污染和腐蚀：使用金属密封件以避免污染和腐蚀，确保了产品的纯净度和延长了设备的使用寿命。
高温运行能力：MKS高温阀可在150°C的过程温度下运行，适应了更广泛的工业应用需求。
调节和更换便利性：MKS控制阀的节流孔无需特殊工具即可轻松调节或更换，这使得维护和调整变得更加便捷。
控制性能优化：通过两个螺旋弹簧使电枢在阀体内居中并抵抗磁升力，最大限度地减少了摩擦和迟滞，从而优化了控制性能。
适应不同流量范围：MKS控制阀提供了广泛的流量范围，能够满足不同工艺过程的需求。
与控制器的兼容性：MKS控制阀可以与适当的MKS控制器和压力传感阀连接，形成一个完整的控制系统。
综上所述，美国MKS控制阀以其精确的流量控制、高温运行能力和与控制器的良好兼容性等特点，在现代工业生产中发挥着重要作用。
希望以上内容对大家有所帮助，欢迎致电咨询！
