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一、等离子体介绍
1、产品原理
通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性"组分包括：离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质，从而优化材料表面性能，实现清洁、改性、刻蚀等目的。
2、行业应用
二、产品介绍
1、产品概述
半导体等离子清洗机(Plasma cleaner)是国内的“数字化大气等离子清洗机"，一款拥有强大的“CPU"的大等离子清洗机。采用稳定性高的移相全桥软开关电路，拥有数字通信及模拟通信两种数据传输方式，通过ARM芯片强大的数据处理功能，实现设备数字化控制，客户产线，可达到中央控制系统统一监控，使清洗效果更稳定、更持久，抗干扰性能增强，减低故障率，控制维护成本，提高产能，有效减低生产成本。
2、产品优势
（1）数字化控制，显示屏显示，实时监控，抗干扰强；
（2）具有十余种故障报警功能，故障排查定位时间缩短80%以上；
（3）支持RS-485/232数字通信接口和模拟通信接口，强大的远程通信功能；
（4）采用TI品牌的移相全桥软开关电路和PFC功率因素校正，相对模拟硬开关电路效率可提高10%以上，响应时间小于0.1s，抗干扰性强；
（5）军工级硬件设计，使用环境温度范围可达到-25℃-50℃，适应不同的严苛场景，MTBF时间可达到≥190Khrs MIL-HDBK-217F(25℃)；
（6）搭载ST品牌的ARM芯片，人机交互简单明了，强大的远程调试通讯功能，无缝对接任意的应用场景，自主研发的软件对实时采集的数据进行智能判断并协调工作，可实现功率自匹配，稳定无变化；
（7）具有6种检测功能：气压检测、主板温度检测、变压器弧压检测、变压器初级峰值电流检测，电网电流检测，喷枪转速检测；
（8）等离子发生器同时支持射流喷枪、旋转喷枪及线性宽幅，一键设置，随时变换；
（9）具有过温防护、过载防护、短路、断路、漏电防护、各种误操作保护等防护功能。
3、产品结构
结构：高压数字电源发生器、等离子发生装置喷枪与控制系统组成。
（1）高压数字电源发生器：
等离子体的产生需要高压激励，本产品采用中频电源进行激励，数字化控制方式，可实现功率自匹配，保证功率的稳定输出，且输出精度高，输出功率不受气压波动，市网电压波动，喷枪电极老化等影响。参数需根据样品实际情况进行调节，以便达到处理效果。
（2）等离子发生装置喷枪：
半导体等离子清洗机搭配高速旋转喷枪：主要处理大面积、形状较复杂的材料，处理面积范围20-80mm，可与原有的生产流水线搭配，实现全自动在线生产，节约人力成本。
（3）控制系统：
控制系统作用在于控制SPA-5800大气等离子清洗机的运行，以及整体系统的保护。
4、产品规格
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大气等离子主机 |
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设备尺寸 |
L580*W480*H149mm |
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重量 |
10KG |
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需求电源 |
电源：单相AC220V，50/60Hz， 10A，接地电阻小于4Ω |
|
等离子发生器规格 |
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电源功率 |
600-1000W可调(依据负载情况设定范围) |
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电源频率 |
50/60Hz |
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远程通信方式 |
支持485接口，232接口，并有模拟通信接口 |
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控制方式 |
数字控制，可选本地控制与远程控制 |
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等离子枪头规格 |
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处理宽度 |
20-90mm |
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枪头尺寸 |
L308*W76*H149mm |
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重量 |
6.5KG |
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枪头可调节高度 |
5-15mm |
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气压范围 |
标准0.2MPA，0.08~0.25MPA可调 |
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工艺气体 |
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使用气体 |
CDA或者N2 |
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检测与报警 |
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检测 |
气压检测、主板温度检测、变压器弧压检测、变压器初级峰值电流检测，电网电流检测，喷枪转速检测 |
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报警 |
具备转速、温度、电压、气压、过载、漏电、功率不匹配、短路、开路、过流等保护功能 |
设备尺寸图纸
2.5.1枪头尺寸图
2.5.2电源尺寸图
三、规格要求
3.1 厂务规格要求
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厂务规格要求 |
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|
需求电源 |
电源：单相AC220V，50/60Hz， 10A，接地电阻小于4Ω |
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厂务排气 |
流 量 ：5m³/min 材质：耐腐蚀材质 |
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厂务压缩空气要求 |
管径：8mm 材质：PU 管 压力：0.4-0.6MPa 气源质量应该满足：固体颗粒粒径<=0.1um,含油量<=0.01mg/m³，压力露点-40°C以下 |
3.2 配置清单
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配置清单 |
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序号 |
名称 |
型号和规格 |
数量 |
备注 |
|
1 |
主机发生器 |
SPA-5800 |
1 |
台 |
|
2 |
常规枪头 |
按客户要求配备 |
1 |
台 |
|
3 |
普通喷嘴 |
按客户要求配备 |
1 |
PCS |
|
4 |
金属波纹管长 |
线长3.5M |
1 |
条 |
|
5 |
送货单 |
纸质文档 |
1 |
份 |
|
6 |
DB15接头 |
线长20cm |
1 |
条 |
|
7 |
产品说明书 |
纸质文档 |
1 |
份 |
|
8 |
产品合格证 |
纸质文档 |
1 |
份 |
|
9 |
产品保修卡 |
纸质文档 |
1 |
份 |
|
10 |
产品质检报告 |
纸质文档 |
1 |
份 |
|
损耗清单 |
||||
|
序号 |
名称 |
型号和规格 |
数量 |
寿命时间 |
|
1 |
喷嘴 |
/ |
1 |
2300H |
|
2 |
电极 |
/ |
1 |
1800H |
|
3 |
皮带 |
/ |
1 |
4800H |
|
4 |
碳刷 |
/ |
1 |
6000H |
注：耗材的使用寿命时间与现场的使用条件有关系，以下寿命时间仅供参考。
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