全反射X荧光光谱技术（TXRF）基于X荧光能谱法（EDXRF），但与能谱分析有着明显的区别：传统EDXRF采用原级X光束以45°角轰击样品，而TXRF采用毫弧度的临界角（接近于零度角）入射。由于采用此种近于切线方向的入射角，原级X光束几乎可以全部被反射，照射在样品表面后，尽可能上避免样品载体吸收光束和减小散射的发生，同时减小了载体的背景和噪声，亦可减少样品使用量。

与原子吸收及发射光谱方法相比，TXRF具有如下优势：

1、无需复杂的样品前处理过程，原子吸收或ICP的样品前处理占据了整个分析过程的绝大部分时间，通常耗时几个小时甚至几天，同时TXRF能有效避免前处理引入的误差；

2、对于易挥发元素有良好检测效果，如Hg/As/Se在消解过程中会损失，Cl/Br/I等ICP检测效果较差；

3、检测元素种类更多，可达80余种, 元素分析范围从Na覆盖到U；

4、检出限更低，多数元素在ppt级，尤其Pb/Rh等元素，而原子吸收或ICP为ppb级。

 

与ICP-MS方法相比，两者检出限基本持平，但TXRF可以无视ICP-MS如下痛点：

1、ICP-MS的耐盐度较差，分析高盐分样品时检出限差（S/Ca/Fe/K/Se等），同时酸基体对于测量影响显著，如盐酸、高氯酸、磷酸、硫酸会引起质谱干扰；

2、ICP-MS根据质核比检测元素，当存在同质异位素时，很难的完成检测；

3、ICP-MS需要超净实验室，造价昂贵；

4、ICP-MS运行成本高，取样锥、涡轮泵、检测器为易损件。