当我们使用扫描电子显微镜观察样品时：

✔  通过小视野进行聚焦和消像散，视野变暗变模糊，或是颗粒变大变朦胧

✔  同一视野下，从高倍往低倍依次拍照，图像出现一系列明显的深色斑块

这便是碳沉积（碳污染）。

▲图1.常见碳污染（视野中的深色框）

本质：富含碳氧，碳碳，和碳与其它弱键的高分子有机物，当在电子束的作用下，游荡在样品表面附近的有机物弱键断裂，气体游离出去，碳沉积下来，其过程类似化学气相沉积（CVD）。

来源：从 Vent Chamber 带入的空气、样品上残留的油污、导电碳浆银浆导电胶带、高分子化合物样品本身……可以说，碳污染无处不在，而且还会随着时间的推移与日俱增。

✔  避免用手直接接触样品台和样品座（戴一次性乳胶手套操作）

✔  高温烘干导电碳浆、银浆

✔  定期用无水乙醇清洁样品台、样品仓等方式方法降低碳污染的累积

✔  利用 Plasma Cleaner（等离子清洗机），从微观层面除碳污染

Plasma Cleaner（等离子清洗机）在工作时，其产生的大量等离子体可以有效地破坏聚合物表面的弱键，并用高活性基团取而代之，让有机物不再有机，变成气态碳氧化合物真空泵吸走，从源头上消灭碳污染。

同时，适当能量的 Plasma Clean（等离子清洗）还可以在不损伤样品表面的前提下对样品本身进行清洗清洁，让略有污染的样品重现真实形貌。

▲ 图2.铁粉样品等离子清洗前（左图）和清洗后（右图），左图浅色框为碳污染

▲ 图3.NCM样品等离子清洗前（左图）和清洗后（右图），左图中央亮区为碳污染

▲ 图4.芯片样品等离子清洗前（左图）和清洗后（右图），左图亮暗不均的方块区为碳污染

▲ 图4.生物切片样品等离子清洗前（左图）和清洗后（右图），左图中央深色方块区域为碳污染

蔡司钨灯丝扫描电子显微镜 EVO 系列、蔡司场发射扫描电子显微镜 GeminiSEM、Sigma 系列、蔡司双束电镜 Crossbeam 系列均可联系我们升级 Plasma Cleaner （等离子清洗机），通过定期以高功率清洗样品舱室，时时以合适的功率清洁样品表面，将使每台电镜都恢复到高质量的工作状态。