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升级等离子清洗机功能 | 扫除碳污染,时刻确保您的设备洁净如初

阅读:491      发布时间:2025-1-14
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当我们使用扫描电子显微镜观察样品时:


✔  通过小视野进行聚焦和消像散,视野变暗变模糊,或是颗粒变大变朦胧

✔  同一视野下,从高倍往低倍依次拍照,图像出现一系列明显的深色斑块

这便是碳沉积(碳污染)。

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▲图1.常见碳污染(视野中的深色框)

碳沉积(碳污染)的本质和来源

本质:富含碳氧,碳碳,和碳与其它弱键的高分子有机物,当在电子束的作用下,游荡在样品表面附近的有机物弱键断裂,气体游离出去,碳沉积下来,其过程类似化学气相沉积(CVD)。

来源:从 Vent Chamber 带入的空气、样品上残留的油污、导电碳浆银浆导电胶带、高分子化合物样品本身……可以说,碳污染无处不在,而且还会随着时间的推移与日俱增。


去除碳沉积(碳污染)的方法

✔  避免用手直接接触样品台和样品座(戴一次性乳胶手套操作)

✔  高温烘干导电碳浆、银浆

✔  定期用无水乙醇清洁样品台、样品仓等方式方法降低碳污染的累积

✔  利用 Plasma Cleaner(等离子清洗机),从微观层面碳污染

Plasma Cleaner(等离子清洗机)在工作时,其产生的大量等离子体可以有效地破坏聚合物表面的弱键,并用高活性基团取而代之,让有机物不再有机,变成气态碳氧化合物真空泵吸走,从源头上消灭碳污染。


同时,适当能量的 Plasma Clean(等离子清洗)还可以在不损伤样品表面的前提下对样品本身进行清洗清洁,让略有污染的样品重现真实形貌。

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▲ 图2.铁粉样品等离子清洗前(左图)和清洗后(右图),左图浅色框为碳污染

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▲ 图3.NCM样品等离子清洗前(左图)和清洗后(右图),左图中央亮区为碳污染

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▲ 图4.芯片样品等离子清洗前(左图)和清洗后(右图),左图亮暗不均的方块区为碳污染

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▲ 图4.生物切片样品等离子清洗前(左图)和清洗后(右图),左图中央深色方块区域为碳污染


可升级Plasma Cleaner的机型

蔡司钨灯丝扫描电子显微镜 EVO 系列、蔡司场发射扫描电子显微镜 GeminiSEM、Sigma 系列、蔡司双束电镜 Crossbeam 系列均可联系我们升级 Plasma Cleaner (等离子清洗机),通过定期以高功率清洗样品舱室,时时以合适的功率清洁样品表面,将使每台电镜都恢复到高质量的工作状态。

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