ICP光谱仪的仪器性能需要定期进行校准，一般是六个月，校准的项目主要有以下几项：
    一、波长的正确性和重复性
    波长的正确性和重复性利用汞灯准值即可完成。在光路入射处安装一个汞灯，然后用它的一条固定谱线来校正光路。按下控制面板上的汞灯键，如汞灯无读数，则按INCREASE或DECREASE键进行调整，使读数在20～100之间。进入ICP软件，启动运行光谱仪中的多色仪校准程序，计算机会自动找到峰值位置，狭缝汞线对正汞的出射狭缝，其它元素通道的出射狭缝也就对正了。

     二、系统试验
     1、电子试验：通过置换PMT信号的试验电压来测试积分器和A/D转换器电路，检查测量系统。
     2、渗漏试验：检查积分模拟开关的状态，结果符合出厂技术要求。
     3、暗电流试验：在每个通道上都进行测量，以便测定在无光条件下由光电倍增管产生的残余电流。
     4、稳定性试验：用来长期测试系统电子元件，仪器开机稳定后，4小时内每隔15分钟测量一次，共16次，然后由计算机算出相对标准偏差（RSD％）。

    三、检出限的校准
    ICP光谱仪处于稳定状态后，用6％盐酸溶液进行雾化，测量各个元素的检出限，依据日常分析范围和出厂要求，判断仪器是否合格。

    四、精密度的校准
    仪器稳定后，用标准溶液进行雾化，按照设定的计算机程序连续测量12次，此组数据不得取舍或补测，由计算机算出平均值、标准偏差和精密度RSD。

    五、测量准确度的校准
    ICP光谱仪稳定后，光路准值，在适宜、正确的格式文件下，用适中的标准样品对工作曲线进行标准化校正，对检查样品进行测量，结果应符合GB222－84要求。