白光干涉仪定义：入射光为宽带光的干涉仪。

白光干涉仪用在低相干性的干涉中，采用白光光源，具有很宽的带宽。光源不一定需要在可见光谱区域。

光源的时间相干性很低，空间相干性很高。将灯泡发出的光射入单模光纤中就可以同时得到很高的空间相干性和很宽的带宽，但是这样得到的功率较低。

采用超辐射光源，例如超发光二极管就可以使光的亮度提高好几个数量级。有时还可以采用可调谐激光器。

白光干涉仪的探测器可以是光电探测器，在时间域上采集信号，也可以采用光谱仪。

激光干涉仪定义：以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。

激光干涉仪具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

另外白光干涉仪和激光干涉仪的应用领域区别：

白光干涉仪是用来测量三维微观形貌的。激光干涉仪是用来检测设备的运动精度的

bruker白光干涉仪推荐型号:ContourX-200、ContourX-500、GT-X，bruker白光干涉仪产品特点：

·易于使用的界面

·快速准确地获得结果

·自动化功能用于日常测量和分析

·*泛的滤镜和分析工具选项，用于粗糙度和关键尺寸测量分析