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电阻率是反映半导体材料导电性能的重要参数之一。测量电阻率的方法很多，四探针法是一种广泛采用的标准方法。它的优点是设备简单、操作方便，度高，对样品的形状无严格要求。
常用的是直线型四探针。四根探针的针尖在同一直线上，并且间距相等，都是S，一般采用0.5mm的间距，不同的探针间距需要对测量结果做相应的校正。
四探针电阻率测试仪测试四探针笔方法：
一般情况下，更换钢针之类，不需要拆开探头，只需要用拔出要更换的钢针，再重新安装新针，如果断针在孔内并且不拆开难以取出，必须按照以下步骤进行操作：
1、先松开笔身尾部端侧面的固定小螺丝，轻轻脱下尾部航空插口，保证探针头部旋转时同步旋转，防止扭线断线，短接;
2、轻轻拧开探针头子，然后小心将铜片拉出，记住七片绝缘片与铜片之间的位置，(四片铜片每片间夹一片绝缘片，两边的铜片外侧各两片)，将断针从铜片卡口座里取下即可;
3、特别注意一定不能将铜片取下时的位置错乱，铜片位置按照航空头四芯1234接线绿红黄黑的顺序一字排列，并且铜片之间按照宽窄顺序互相交叉排列，以免短接;
4、安装时铜片及绝缘片按照拆下时的排列轻轻塞进探针头子，并先将探针头子拧紧，再将尾部航空头插上，并且旋紧小螺丝;
5、将针装好，注意针头针尾方向，尖头为探针头部。
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