高质量薄膜材料的制备已经成为新型材料与器件研究不可少的部分。薄膜材料质量的好坏直接影响着研究结果和器件的最终性能。因此薄膜制备设备已成为新型材料和器件研究的重中之重。对于大多数薄膜材料，常用的制备手段有磁控溅射、热蒸发、电子束蒸发、脉冲激光沉积等。这类在真空条件下采用物理方法将材料源（多数为固体）表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基片表面沉积具有某种特殊功能的薄膜称为物理气象沉积（PVD）。传统设备中，一种设备只具备一种薄膜的制备手段，随着研究的深入和器件的复杂化，往往一个样品需要多种制备手段才能完成。样品在不同设备中轮流进行加工制备增加了外界影响的可能性，对样品的质量和可靠性有较大影响。因此，在一种设备中实现多种制备手段成为一种有效的解决方案。

英国Moorfield Nanotechnology公司生产的高精度薄膜制备与加工系统涵盖了磁控/热蒸发、磁控/电子束蒸发、有机物/金属热蒸发等多种制备手段。日前，QuantumDesign中国将一台高质量磁控/电子束薄膜制备系统MiniLab-125安装于复旦大学并顺利验收投入使用。该系统与其他设备进行真空互联，实现了样品的制备、表征全流程研究体系，成为了用户对新型材料与器件研究的重要保障。

已安装验收并顺利投入使用的磁控溅射/电子束蒸发薄膜制备系统MiniLab-125

Moorfield Nanotechnology是英国材料科学领域高性能仪器研发与制造公司，成立二十多年来专注于高质量的薄膜生长与加工技术，拥有雄厚的技术实力，推出的多种高性能设备受到科研与工业领域的广泛好评。高精度薄膜制备与加工系统–MiniLab、台式高性能多功能PVD薄膜制备系列—nanoPVD、台式超精准二维材料等离子软刻蚀系统—nanoETCH、台式精准气氛\压力控制高温退火系统—ANNEAL是经过多年技术积累与改进的旗舰系列产品。配置灵活、模块化设计的系统，可满足一种或多种薄膜制备功能，能够满足各种用户的需求。产品推出以来已经交付于全球诸多高校和科研单位，并获得用户的好评。

高质量台式热蒸发系统T15A

高质量台式磁控溅射系统S10A

高质量台式磁控溅射&热蒸发系统ST15A

高精度多功能薄膜制备系统-MiniLab系列