光谱椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构特性的光学测量设备，是随着现代科技的发展而迅速发展起来的光学无损检测方法。可测的样品包括大块材料、薄膜以及在平面基底上生长或沉积的多层结构。多层固体、液体、与固体相邻的液体以及与固体接触的气相等离子体的特性等都可以用这一技术来探测。由于与样品非接触，对样品没有破坏并且不需要真空，使得椭偏仪成为一种J具吸引力的探测设备。它已越来越广泛的用于介电、半导体、金属、有机物等各种材料的光学特性、结构特征、生长过程和材料质量的快速测试与研究。此红外椭圆偏振光谱仪是当今上唯11种红外波段、单色仪分光形式的椭圆偏振光谱仪，它具有高准确度，高精度和比基于红外傅里叶光谱仪的椭偏光谱仪便宜得多等优点。
光谱范围：
初，
光谱椭偏仪的工作波长多为单一波长或少数独立的波长，典型的是采用激光或对电弧等强光谱光进行滤光产生的单色光源。大多数的椭偏仪在很宽的波长范围内以多波长工作。和单波长的椭偏仪相比，光谱型椭偏仪有下面的优点：可以提升多层探测能力，可以测试物质对不同波长光波的折射率等。
椭偏仪的光谱范围在深紫外的142nm到红外33um可选。光谱范围的选择取决于被测材料的属性、薄膜厚度及关心的光谱段等因素。例如，掺杂浓度对材料红外光学属性有很大的影响，因此需要能测量红外波段的椭偏仪；薄膜的厚度测量需要光能穿透这薄膜，到达基底，然后并被探测器检测到，因此需要选用该待测材料透明或部分透明的光谱段；对于厚的薄膜选取长波长更有利于测量。
产品特点：
1、连续波长的光源为用户提供了更大的应用空间。
2、更简便快捷的样品准直方法。
3、软件具备丰富的材料数据库。
4、允许用户自定义色散模型，更方便用户研究新材料的光学性质。
5、全波长多角度同时数据拟合，EMA模型用户多成分化合物和表面粗糙度分析。
6、具有实验数据和模拟数据三维绘图功能。
7、光谱范围宽达250-1100nm（可扩展至250-1700nm）。
8、功能强大的光谱椭偏测量与分析软件。
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