纳米精度3D测试仪是光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉仪干涉显微镜，结合显微镜物镜与干涉仪，不需要复杂光路调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等有点，可提供垂直扫描高度达400μm的三维测量，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。

纳米精度3D测试仪应用领域包括：
★晶圆（Wafer）
★光盘/硬盘（DVD Disk/Hard Disk）
★微机电组件（MEMS Components）
★平面液晶显示器（LCD）
★高密度线路印刷电路版（HDI PCB）
★IC封装（IC Package）
★其他材料表面分析与微组件表面研究
专业级的3D图形处理与分析软件；
提供多功能又具亲和接口的3D图形处理分析
提供自动表面平整化处理功能
提供阶高标准片的软件自校功能
深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式
线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（roughness）和起伏度 （waviness）的量测分析.可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据
区域分析方式提供图形分析与统计分析.具有平滑化,锐化与数字滤波等多种二维快速傅利叶转换（FFI）处理功能
量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是以Excel文本文件格式输出.

关键词：纳米精度3D测试仪，表面粗糙度（roughness），起伏度 （waviness），白光干涉仪