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日立分析仪器(上海)有限公司

化工仪器网>产品展厅>分析仪器>光谱>瞬态吸收光谱仪>FT1030 深能级瞬态谱仪DLTS

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FT1030 深能级瞬态谱仪DLTS

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上海麦科威半导体技术有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家专业的微纳材料、半导体和微电子材料及器件研发仪器及设备的供应商,所销售的仪器设备广泛用于高校、研究所、以及半导体和微电子领域的高科技企业。目前总部在上海,香港、南通、深圳、北京分别设立分公司和办事处,快速响应客户需求。同时上海麦科威在快速扩展海外市场,并设立新加坡分公司,辐射东南亚市场。

上海麦科威半导体技术有限公司主要销售产品包括:  - 霍尔效应测试仪;  - 快速退火炉;  - 回流焊炉,共晶炉,钎焊炉,真空烧结炉;  - 电子束蒸发镀膜机,热蒸发镀膜机;  - 探针台,低温探针台,微探针台;  - 金刚石划片机; - 球焊机,锲焊机;  - 磁控溅射镀膜机;  - 原子层沉积系统,等离子增强原子层沉积设备;  - 电化学C-V剖面浓度分析仪(ECV Profiler); - 扫描开尔文探针系统; - 光学膜厚仪; -贴片机-PECVD\CVD;-脉冲激光沉积系统-PLD-纳米压印;-等离子清洗机、去胶机;-反应离子刻蚀RIE; - 光刻机、无掩膜光刻机; - 匀胶机; - 热板,烤胶板; -少子寿命、太阳能模拟器;-NMR-瞬态能谱仪-外延沉积-等离子清洗机-离子注入-划片机、裂片机光刻机(针尖/电子束光刻机EBL,紫外光刻机,激光直写光刻机),镀膜机(磁控溅射机,电子束蒸发机,化学沉积机,微波等离子沉积机,原子层沉积机  等等…

企业客户: 华为技术有限公司, 深圳市鹏芯微集成电路制造, 深圳清力技术, 安徽格恩半导体, 苏州稀晶半导体科技, 矽品半导体, 厦门海辰新能源科科, 中核同创(成都)科技, 洛玛瑞芯片技术(常州),伟创力科技, 奥普科星河北科技,广东五星太阳能,广东万和集团,西安西测股份, 普源精电科技, 普源精电科技股份, 上海蔚来汽车, 北京华脉泰科, 广医东金湾高景太阳能科技, 深圳汇佳成电子, 深圳市化讯半导体材料, 珠海珍迎机电, 合肥鼎材科技, 山东金晶节能玻璃, 江苏云意电气股份, 广东风华技股份, 浙江中能合控股集团,固安维信诺,淮安天合光能,浙江老鹰半导体, 四川信通电子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大学, 汕头大学, 南方医科大学, 清华大学, 北京大学, 复旦大学, 西北工业大学, 南京医科大学, 香港中文大学, 香港城市大学, 苏州大学, 深圳职业技术学院, 南京大学合肥国家试验室, 上海交通大学医学院, 华南理工大学,华东师范大学,江南大学,重庆26所, 深圳大学, 南方科技大学, 深圳技术大学, 理化技术研究所, 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院, 桂林电子科技大学, 上海硅酸盐研究所, 中国航天五院, 中科合肥智慧农业协同创新研究院 等。

半导体设备,快速退火炉,原子层沉积,键合机,光刻机

  • 详细介绍

  • 高能分辨率深能级瞬态谱(DLTS)


    PhysTech在1990年推出了一台数字DLTS,随着电脑技术的发展,使得在短时间内进行复杂计算成为可能。在纯指数发射过程模型的基础上,用各种数学模型分析测量到的瞬态过程,如傅里叶转换、拉普拉斯转换、多指数瞬态拟合、ITS(等温瞬态光谱)信号重叠法、温度扫描信号重叠法(重折叠)。与其他系统相比,HERA-DLTS具有能量分辨率。

    半导体的掺杂浓度、缺陷能级位、界面态(俘获界面)是研究半导体性质的重要手段。此设备根据半导体P-N 结、金-半接触结构肖特基结的瞬态电容(△C~t)技术和深能级瞬态谱(DLTS)的发射率窗技术测量出的深能级瞬态谱,是一种具有很高检测灵敏度的实验方法,能检测半导体中微量杂质、缺陷的深能级及界面态。通过对样品的温度扫描,可以给出表征半导体禁带范围内的杂质、缺陷深能级及界面态随温度(即能量)分布的DLTS 谱。

    特点:

    操作模式:


    规格:



    分辨率:

    1*108 atoms/cm3

    脉冲发生器

    电压范围: ±20.4V(±102opt.)
    电压分辨率: 0.625mV
    电流: >±15mA
    脉冲宽度: 1μs-1000s
    快速脉冲选配


    电容表
    HF信号: 100Mv@1MHz(20mV optional)
    范围[pF]: 3,30,300,3000(自动或手动)
    电容补偿: 0.1-3000 pF(自动或手动)
    灵敏度: 0.01 fF


    电压测量
    范围: ±10V
    灵敏度: <1μV
    输入电阻: 106Ohm
    可提供偏压补偿:

    电流测试

    范围:

    5,从±1μA 到±10mA

    灵敏度:

    <1pA
    可提供漏电保护

    瞬态记录

    样品速率:

    2μs到2000s

    样品数量:

    16-16384(opt.64k)

    可调节抗失真滤膜



    标准冷却仓
    温度范围: 15K-450K或77K~800K
    温度扫描方式: 使用28个不同的相关功能(软件)通过一次温度扫描,给出28个温度扫描信号。

    典型性能(Schottky Diode,Reverse Bias Capacitance 100pF@OV)
    灵敏度: 10-7<NT/(ND-NA)<10-5
    能量精度: HT+/-3%
    能量分辨率: 10meV
    发射率: 10-3/s<en<104/s


    Options






    • Constant Capacitance

    • Optical Excitation

    • Fast Pulse Interface

    • ±100 V Option

    • Multi Sample Interface

    • C-DLTS

    • CC-DLTS

    • I-DLTS

    • DD-DLTS

    • Zerbst-DLTS

    • O-DLTS

    • FET-Analysis

    • MOS-Analysis

    • ITS(等温瞬态光谱仪)

    • 缺陷分析

    • 俘获截面测量

    • I/V, I/V(T)理查森标绘图

    • C/V, C/V(T)

    • TSC/TSCAP

    • PITS(光子诱导瞬态谱)

    • DLOS(特殊系统)

    • 自动接触检查

    • 常规测试和加强软件

    • 自动电容补偿

    • 三终端FET电流瞬态测量

    • 大电容和浓度范围

    • 灵活性高、模块化硬件

    • 支持各种冷却仓和温度控制器

    • 傅里叶转换(F-DLTS),比例窗口和用户自定义校正功能

    • DLTFS(深层瞬态傅里叶光谱仪)评价







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