直写光刻机产品特点：
数字光刻系统
微纳器件无掩模版直写光刻
光掩模版制作
3D结构曝光功能
自动对准功能
用户自定义标记对准功能
可视化定点曝光功能
自动聚焦功能
不规则样片曝光
快速、精细两种曝光模式
支持多种数据格式（GDSⅡ/ Gerber/ O DB++）
背部对准功能（选配）
405nm LD光源（375nm可选）
直写光刻机参数：
|
型号 |
MLC Lite |
||
|
ModeⅠ |
Mode Ⅱ |
Mode Ⅲ |
|
|
最小特征尺寸 |
0.5μm |
1μm |
2μm |
|
最小线宽线距 |
0.8μm |
1.2μm |
2.5μm |
|
CD均匀性 |
10% |
10% |
10% |
|
两层对位精度 5x5m㎡ |
500nm |
800nm |
1000nm |
|
两层对位精度 50x50m㎡ |
800nm |
1000nm |
1500nm |
|
产能 |
50mm²/min |
100mm²/min |
300mm²/min |
|
最小基板尺寸 |
5mm x 5mm |
||
|
基板厚度 |
0.1 - 12mm(可选) |
||
|
曝光面积 |
150mm x 150mm |
||
|
灰度曝光 |
可选128阶 |
||
|
曝光光源 |
Laser, 405nm or 375nm |
||
采购中心
化工仪器网