序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额（万元）

预计采购日期

1

超分辨超快光谱系统

1.飞秒激光器光源；2.超快瞬态吸收显微成像系统；3.超快电镜；4.拉曼光谱仪；5.振动切片机。

1300

2025年04月

2

光学遥感相机仿真设计与测试设备

采购集成仿真系统、光学设计软件、动态干涉仪、600mm口径平行光管、镜头智能化装调测试系统等国产设备及软件

1300

2025年04月

3

玻璃基加工设备

拟采购湿法刻蚀机，电镀机，CVS，电位滴定，涂胶机，去胶机，化镀机，激光诱导机，研磨机，切割机（玻璃），印刷机，回流机，Flux清洗机，键合机（晶圆键合），解键合机用于玻璃基加工。

2353

2025年04月

4

先进传感测试系统

拟采购FIB-SEM双束电镜 ，台阶仪 ，瞬态光致发光光谱测试仪，圆二色谱仪，532nm 脉冲激光器， 超景深光学显微镜，气质联用仪，用于先进传感测试。

1755

2025年04月

5

先进测试加工设备

拟采购超连续谱光纤激光器，鲁汶仪器Pishow电感耦合等离子体刻蚀平台，超导磁体探针台，物理气相沉积设备（PVD）设备用于先进测试加工。

1816

2025年04月

6

MEMS传感器封装测试设备

拟采购MEMS晶圆片测试、封装、MEMS传感器芯片参数测试、可靠性测试等相关设备，用于验证MEMS传感器芯片的各项性能与指标。

3007

2025年04月

7

MEMS传感器特种加工工艺设备

拟采购掺杂设备、深硅刻蚀设备，用于MEMS传感器掺杂，实现阻值调控；高质量的通孔。

3100

2025年04月

8

光学遥感相机集成装调相关设备

采购气浮光学平台、焦面拼接仪、大口径平行光管及平面镜、光学相机智能集成测试系统等国产设备。

2700

2025年04月

9

MEMS传感器制造设备

拟采购管热炉、湿法蚀刻、匀胶显影、干法蚀刻、薄膜沉积等相关设备，用于MEMS传感器加工制备。

4693

2025年04月

10

光学遥感相机高性能测试设备

采购光谱反射率及发射率测试仪、高性能示波器和矢量网络分析仪、激光干涉仪等设备、红外热像仪、红外光谱辐射计、可见近红外光谱辐射计、可见短波红外光谱辐射计、振动模态测试分析系统、大气传输软件等进口设备及软件。

19000

2025年04月

11

光学遥感相机环境试验相关设备

采购振动台、高低温试验类设备、真空罐、光学相机测控温系统等国产设备。

1100

2025年04月

12

光学遥感相机成像性能测试相关设备

采购辐射响应测试装置、光谱定标、积分球光源、真空低温黑体、相机地检及成像测试系统、相机转台等国产设备。

1200

2025年04月

13

光电微纳扫描测头检测与装调设备

为满足光电微纳扫描测头研制过程的检测与装调需求，采购进口设备包括LDLS高亮宽谱光源、LDLS光纤输出光源、高精度六足并联调整台等，国产设备包括300mm离轴反射式平行光管、可见光平行光管等。

556.5

2025年04月

14

超分辨工业相机性能测试相关设备

为满足超分辨工业相机性能测试需求，采购进口设备包括宽光谱MTF测量仪等，国产设备包括可见光至短波红外光谱扫描成像系统、中波红外光谱扫描成像系统、小型六足并联调整台、多自由度双工件台系统等。

1162

2025年04月

15

显微物镜超精密检测与装调设备

为满足显微物镜超精密检测与装调需求，采购进口设备包括中心偏差测量仪、高精度折射率测量仪、超精密定心车与单点车、紫外至近红外分光光度计。

1398

2025年04月

16

晶圆缺陷检测装备研制项目

为满足晶圆缺陷检测装备研制过程中的检测、装调、实验需求，采购进口设备包括266nm紫外干涉仪，采购国产设备包括四维精密运动台、高速旋转扫描台、高功率深紫外激光器、高功率紫外连续激光。

1165.5

2025年04月